技術(shù)參數(shù)
測量范圍:200mm ×100mm
分辨率:0.0001mm
準(zhǔn)確度:(1+L/100)μm(其中L為被測長度,單位為mm)
工作臺
方工作臺尺寸:260mm×270mm
方工作臺承放工件高度:140mm
工作臺承重:40kg
主顯微鏡立柱
傾斜范圍:±12°
傾斜角度分度值:30′
物鏡
物鏡放大率 | 工作距離(mm) | 圖像放大倍率 |
1× | 82mm | 40× |
3× | 70mm | 120× |
5× | 49mm | 200× |
屏幕圖像范圍(mm) | 屏幕圖像范圍(mm) |
1/2″≈5.2×4.1 | 1/3″=4.1×3.1 |
1/2″≈1.7×1.4 | 1/3″=1.4×1.0 |
1/2″≈1.0×0.8 | 1/3″=0.8×0.6 |
頂針架
夾持直徑:φ100 mm
夾持長度:700mm
高頂針架
夾持直徑:φ250 mm
夾持長度: 200mm
數(shù)顯分度頭
角度測量范圍:0°~360°
角度測量分辨率:5″
角度測量準(zhǔn)確度:30″
CCD 攝像頭
1/3″黑白(或彩色)CCD,像素?cái)?shù):795×596
光學(xué)定位器
最小探測孔徑: φ5mm
探測深度:15mm
測量力:0.1N
定位穩(wěn)定性: 0.001mm
測頭直徑的檢定極限誤差:0.0005mm
環(huán)境要求 : 室溫20±1℃,相對濕度40%-60%RH
儀器外形尺寸(mm) : 長1300×寬1250×高800
儀器質(zhì)量: 450kg