● Z軸通過(guò)電動(dòng)手脈進(jìn)行精準(zhǔn)控制（對(duì)焦精度可達(dá)0.0005mm）
● 快速釋放裝置便于測(cè)量工件大或測(cè)量工件數(shù)量多的快速移動(dòng)工作臺(tái)
● 高位目鏡觀察
● 千兆網(wǎng)口CCD圖像成像(HKVISION-300萬(wàn)像素)
半導(dǎo)體測(cè)量工具顯微鏡2010技術(shù)參數(shù)
3.1主體規(guī)格
◆X坐標(biāo)行程: 300（mm）
◆Y坐標(biāo)行程： 200（mm）
◆Z坐標(biāo)行程: 150（mm）
◆X、Y坐標(biāo)測(cè)量示值誤差≤（3+L/150）µm ，L為被測(cè)長(zhǎng)度(單位：mm)
◆X、Y、Z數(shù)顯分辨率：0.001mm
◆輪廓光源：綠色LED平行光源，無(wú)極亮度可調(diào)
◆上光源：白色LED環(huán)形可調(diào)光源
3.2目視系統(tǒng)
◆雙目視鏡筒+標(biāo)準(zhǔn)的TV攝像機(jī)端口
◆物鏡：1.0-6.5X可連續(xù)變倍物鏡
◆目鏡放大倍數(shù)：10X，單雙目同，可選配20X
◆總放大倍數(shù)： 10X-65X（包括畸變?cè)趦?nèi)的）
◆物鏡放大倍數(shù)誤差：放大率誤差范圍在0.08%以內(nèi)
3.3影像系統(tǒng)
◆標(biāo)配CCD相機(jī)1X鏡筒
◆CCD：千兆網(wǎng)口高清晰攝像頭（HKVISION）
◆綜合影像放大倍數(shù)：45X-285X
半導(dǎo)體測(cè)量工具顯微鏡2010軟件功能
l 配備專業(yè)視覺(jué)影像測(cè)量軟件，帶十字線捕捉閃爍功能，可測(cè)量二維平面尺寸（角度、直徑、半徑、點(diǎn)到點(diǎn)的距離、點(diǎn)到線的距離、線到線距離、線到圓的距離、圓到圓的距離等等）；
l 圖形自動(dòng)捕捉：開(kāi)啟自動(dòng)捕捉功能后，測(cè)量點(diǎn)、線、圓及圓弧，可自動(dòng)捕捉到最清晰的地方；
l 視覺(jué)拍照功能：可通過(guò)軟件抓拍實(shí)時(shí)產(chǎn)品圖片，然后保存到電腦里，并可通過(guò)軟件調(diào)出圖片進(jìn)行查看或處理；
l 標(biāo)注文字：可在實(shí)時(shí)影像中標(biāo)注文字說(shuō)明；
l 公英制轉(zhuǎn)換：測(cè)量值可在公制和英制之間切換；
l X、Y清零：可用畫(huà)面十字線設(shè)置任意點(diǎn)為相對(duì)原點(diǎn)，將X、Y坐標(biāo)清零；
l 測(cè)量數(shù)據(jù)輸出：可將測(cè)量數(shù)據(jù)或圖形導(dǎo)入WORD或EXCEL做報(bào)表；
l “瀏覽”窗口： 可觀察工件的全圖形并具有類似AutoCAD的縮放功能；
l 輔助功能：可把在軟件中繪制出的圖形進(jìn)行移動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、復(fù)制、刪除，并可作任意線段的平行線、垂直線；
l 自動(dòng)兩點(diǎn)線：在單一畫(huà)面下可自動(dòng)捕捉工件的邊緣，無(wú)須以人工取線，減少人眼誤差，提高測(cè)量精度；
l 自動(dòng)三點(diǎn)圓：在單一畫(huà)面下可自動(dòng)捕捉工件的圓半徑、直徑，并繪出圖形，無(wú)須以人工取圓，減少人眼誤差，提高測(cè)量精度；
l 自動(dòng)多點(diǎn)線：自動(dòng)捕捉工件邊緣，然后根據(jù)工件邊緣擬合出圖形，從而減少兩點(diǎn)取線及人眼的誤差；
l 自動(dòng)多點(diǎn)圓：自動(dòng)捕捉工件邊緣，然后擬合出工件的孔徑，并繪出圖形，從而減少三點(diǎn)取圓及人眼的誤差；
l 自動(dòng)圓：在單一畫(huà)面下用鼠標(biāo)框中圖形，可快速自動(dòng)捕捉出圓.；
l 設(shè)定工件坐標(biāo)：可以根據(jù)客戶本身的需要在影像中的實(shí)際工件上自行設(shè)定工件坐標(biāo)，有兩點(diǎn)確定X軸、兩點(diǎn)確定Y軸或三點(diǎn)確定坐標(biāo)系等多種設(shè)定方法；
l 具有坐標(biāo)平移、坐標(biāo)旋轉(zhuǎn)及坐標(biāo)分中等功能：
l 坐標(biāo)標(biāo)注：可標(biāo)注工件中任意點(diǎn)的坐標(biāo)值；
l Pitch標(biāo)注：可標(biāo)注任意點(diǎn)到一條直線的垂直距離，可標(biāo)注任意兩線的垂直距離
