多濃度點氣體稀釋裝置SSGM:配氣儀的實驗通常運行48小時,自動化和智能化就很重要,當出現(xiàn)錯誤時,如設定值和實際值之間出現(xiàn)嚴重偏差,必須采取措施,智能稀釋配氣儀的優(yōu)勢是在發(fā)生故障或緊急情況時,能自動調節(jié)或遠程調節(jié),無需人為干預。作為確保實驗數(shù)據(jù)的準確性,因此,測試結果的重復性以及質量流量控制器的重復性非常重要。
多濃度點氣體稀釋裝置SSGM:如今的智能稀釋配氣儀已經廣泛應用于各行各業(yè),如:氣體成分制造、CVD和PVD、光學玻璃鍍膜、真空技術和太陽能元器件制造及半導體加工工藝等。不同于市場上的許多其他智能稀釋配氣儀,SSGM系列的產品采用*的數(shù)字技術,提供總線接口選項和附加功能如累計和報警,按照用戶需求,在出廠時調整并保持精度規(guī)格,從而提高稀釋儀的準確度,減少不同范圍稀釋儀的庫存,降低采購成本。包括觸摸顯示屏、CUP處理器、氣路管道、壓力傳感器、氣體流量調節(jié)閥、排風系統(tǒng)、網絡接口、 電源插口、集控中心、警示燈等組合而成,本調節(jié)儀能實時獲悉氮氣和氬氣的流量及累計用量,使其實現(xiàn)能合理地調節(jié)或控制氮氣的供給量,以實現(xiàn)能同時對多個溫度控制區(qū)進行檢測,其具有檢測精度高的優(yōu)點。
多元氣體濃度混合儀由微處理器控制的數(shù)字化配氣系統(tǒng),是一種高精度、高分辨率的氣體稀釋系統(tǒng),該儀器的配氣技術和所有配件全部為本公司提供,為交鑰匙工程。氣體濃度的混合范圍連續(xù)可調,使用時用戶只需要在彩色觸摸屏上設定幾項數(shù)值,就能得到自己所需要的氣體濃度,氣體總流量的大小,根據(jù)使用要求,能任意調節(jié)。良好的重復性和線性能更好的保證每次配氣的精準度和重復性。在控制采集間設置遠程控制終端,遠程操控供氣過程,對主管路壓力和各個支路壓力進行實時監(jiān)控;在控制軟件內可對個支路內流量進行實時監(jiān)控;具備遠程自動控制和手動控制功能,可進行自動閉環(huán)控制亦可開環(huán)手動控制;控制軟件在工作過程中,實時記錄各個關鍵參數(shù)(支路壓力、流量、調節(jié)開度等),并能導出為excel文件。