ESNANO-系列技術(shù)參數(shù)如下
機臺行程(X,Y) ：
300mm×200mm×200mm
400 mm×300 mm×250mm
分辨率：0.0001mm
測量行程：400mm×300mm (X×Y)
工件限高：250mm (Z)
載物臺尺寸：600 mm×450 mm
示值系統(tǒng)：封閉式光柵尺
分辨率：0.1μm
示值精度：E = (2.0 + L/100) μm (L單位:mm)
重復(fù)精度：0.002 mm
載物臺尺寸：500 mm×400 mm
驅(qū)動系統(tǒng)：高穩(wěn)定性 ,交流伺服馬達及驅(qū)動器
傳動方式：研磨級絲桿
導(dǎo)軌型式：高精度雙滾動直線導(dǎo)軌(XY軸)、高精度雙滑塊導(dǎo)軌(Z軸)
操作方式：搖控手柄(可選)、鼠標(biāo)拖運、程序檢測
影像系統(tǒng)：高解析彩色攝影機
影像擷取卡：影像測量儀專用卡
物鏡：全自動變倍遠心鏡頭，光學(xué)放大倍率0.75×-4.5×,標(biāo)配0.5×、1.5×、2.0×附鏡各1件影像放大倍率：25-155×，加附鏡可擴展到12-300×（實物到17'螢?zāi)?024×768像素）
照明系統(tǒng)： 表面 程式控制四相LED環(huán)形光 輪廓 程式控制單相LED底部透射光
量測軟件：自動版光學(xué)視覺量測軟件
工作機臺：高精度花崗巖平臺
機臺承重：50kg
整機重量：410 kg
整機尺寸：1500 mm×900 mm×1650 mm
電源：AC 220±5V、50Hz
使用環(huán)境：溫度 20±3 ℃、濕度35%-65%
測量軟件功能：
一、基本功能：
●笛卡爾坐標(biāo)/極坐標(biāo)轉(zhuǎn)換 ●/相對/工作坐標(biāo)轉(zhuǎn)換
●公/英制轉(zhuǎn)換 ●度/度分秒轉(zhuǎn)換
●點/點群 ●兩點/多點求線
●三點/多點求圓及弧 ●B-spline線
●兩點間的距離 ●兩線間的平均距離
●點線間的距離 ●兩圓心距離
●圓線距離 ●兩線間的夾角及交點
二、特殊功能
1.軟件控制光源。上光源為四相燈，下光源為直光源，增加機器適應(yīng)性能。
2.量測工件無需調(diào)節(jié)擺正，軟件提供坐標(biāo)平移、旋轉(zhuǎn)、擺正。
3.直接在影像及幾何區(qū)標(biāo)注/移動尺寸。直線修剪、延伸、倒角功能。
4.自主研發(fā)的全自動變倍遠心鏡頭，高精度伺服變倍系統(tǒng)令測量真正全自動化，不需要在每次變倍后重新校正放大倍率，大大提高測量效率。
5.幾何區(qū)點、線、圓/圓弧及直線端點、中點，圓心、象限點自動捕捉。
6.調(diào)節(jié)CCD參數(shù)設(shè)定，提高自適應(yīng)力；去除毛邊功能，以正確取得量測數(shù)據(jù)。
7.利用影像工具快速自動抓取基本幾何輪廓邊界點，直接擬合成線、圓、弧。
8.量測區(qū)工件放大攝像圖形化輸出，轉(zhuǎn)成(.bmp、.jpg)。
9.測量數(shù)據(jù)化輸出，轉(zhuǎn)成WORD (.doc) 、EXCEL (.xls)。
10.SPC功能，直接輸出管制圖、制程能力指數(shù)，轉(zhuǎn)成WORD、EXCEL
11.機械圖形直接輸出.dxf格式，實現(xiàn)2D抄數(shù)功能 ，與AutoCAD、Pro/e等其它軟件無縫聯(lián)接。
12.可轉(zhuǎn)入.DXF格式文件，與工件實物或測量圖形進行比對。并可直接在影像區(qū)任取兩點得到誤差測量值。
13.提供平面內(nèi)直線度、圓度、角度分析，進行有效之品質(zhì)檢驗
14.機臺精度補償，提高量測精度。
三、特點：
機身主體采用高精密天然花崗巖，具有穩(wěn)定的溫度特性和抗時效變形能力，保證測量的穩(wěn)定性及長期使用的剛性。
標(biāo)配由本公司自行開發(fā)的TC系列遠心光學(xué)設(shè)計鏡頭，高性能，超低畸變，保證測量的精確度；精密多段定倍變焦，可先期儲存入各段倍率的放大系數(shù)，使用時隨時調(diào)出，不需再次校正，節(jié)約輔助時間，提高測量效率。
三軸均采用業(yè)界*可靠性的松下Panasonic AC伺服馬達系統(tǒng)，所有運動控制均由專用的高速32bitDSP運動控制器進行，確?？煽啃缘母咚贉y量。
三軸均采用研磨級絲桿，使機臺運動更精確、快速、順暢，噪音大幅度降低。
三軸均采用感應(yīng)式限位開關(guān)，提高使用壽命及限位準(zhǔn)確度與靈敏度。
機器預(yù)留有供以后升級的探針準(zhǔn)備系統(tǒng)：光柵數(shù)顯，數(shù)據(jù)接口，支架附件等。 方便用戶隨時升級，不需改裝，簡單快捷。
Z軸可選配探針，具有強大的三維測量功能（英國雷尼紹Renishaw系統(tǒng)）
