型號(hào)：GMG-2020C

說(shuō)明：2kW/2450MHz高穩(wěn)定程控微波功率源

GMG-2020C 2KW程控微波源概述

GMG-2020C 2KW程控微波源，是總結(jié)多年來(lái)我們研制和生產(chǎn)高穩(wěn)定微波源的經(jīng)驗(yàn)和客戶反饋的意見，經(jīng)過(guò)精心設(shè)計(jì)和改進(jìn)而研制成功的。其穩(wěn)定度高，性能優(yōu)良、工作穩(wěn)定可靠、使用方便。

本系統(tǒng)采用的單片機(jī)程序觸摸屏控制?？刂凭雀?、穩(wěn)定性好、操作簡(jiǎn)單。

本系統(tǒng)采用控制柜與功率頭分離結(jié)構(gòu)，有利于用戶方便連接不同類型的波導(dǎo)系統(tǒng)。

用戶配接相應(yīng)的反應(yīng)器，可廣泛用于金剛石、類金剛石等多種薄膜的MPCVD；微波ECR系統(tǒng)，微波等離子源；微波精細(xì)陶瓷燒結(jié)等高科技領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)。

二. 微波源系統(tǒng)組成及技術(shù)指標(biāo)

2.1. 系統(tǒng)組成

1）微波功率頭: 采用微波磁控管作為功率源，輸出功率為2000W。

2）傳輸系統(tǒng): 可根據(jù)用戶要求選配，如環(huán)行器，短負(fù)載，電動(dòng)三銷釘調(diào)配器等組件。

3）控制系統(tǒng): 采用單片機(jī)控制，控制微波輸出功率、反射功率和工作時(shí)間。

以上三部分構(gòu)成微波源.

2.2. 主要技術(shù)指標(biāo)

1）工作頻率：2450MHz±25MHz

2）輸出功率：200W~2000W連續(xù)可調(diào)，（要求三相電壓平衡，相電壓差不超過(guò)1%）

3）功率穩(wěn)定度：輸出功率變化±1%（輸出2kW時(shí)）。

4）控制方式：面板操作控制方式。

5）功率顯示：采用3組4位數(shù)顯表分別顯示微波反射功率值、輸出功率值、工作時(shí)間或設(shè)定功率值。

6）傳輸系統(tǒng): 該系統(tǒng)可根據(jù)要求配三端環(huán)行器，短負(fù)載,電動(dòng)三銷釘調(diào)配器等波導(dǎo)組件。負(fù)載駐波系數(shù)(VSWR)在1.5-50大幅度變化時(shí)仍能調(diào)配和穩(wěn)定工作。

7）設(shè)備保護(hù)系統(tǒng)：系統(tǒng)有完善的保護(hù)功能，對(duì)電源、冷卻水等異常情況進(jìn)行自動(dòng)保護(hù)，確保工作安全可靠。

8）微波泄漏符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。

9）輸出波導(dǎo)：          BJ-26帶FD-26標(biāo)準(zhǔn)法蘭盤；

10）電源：               三相四線 380V±10%  /50Hz

11）功耗：        <2.5 KW

12）接地電阻：        小于5Ω

13）冷卻水壓：         400 KPa

14）冷卻水流量：      3 升/分

15）冷卻水接頭直徑：Φ10 mm