型號：GGH-11
說明：GGH-11氦質(zhì)譜檢漏儀最小可檢漏率：1×10-11Pa?m3/s，漏率顯示范圍： 1×10-4～1×10-11Pa?m3/s ...
GGH-11型氦質(zhì)譜檢漏儀指標
一、檢漏儀技術參數(shù)
1.最小可檢漏率：1×10-11Pa·m3/s
2.漏率顯示范圍： 1×10-4～1×10-11Pa·m3/s
3.啟動時間： ≤5min
4.響應時間：≤1S
5.檢漏口壓力： 1000Pa
6.檢漏口對氦抽速： 1.5l/s
7.重量：75kg
8.工作環(huán)境: 溫度：12 oC至40 oC, 相對濕度≤80%
二、檢漏儀所配置的分子泵的技術參數(shù)
| 抽速L/S | 50L/S |
| 抽氣時間(14L容積) | 80 sec (100 mbar);110 sec (1 mbar); |
| 155 sec (1e-4 mbar); 400sec (1e-5 mbar) | |
| 壓縮比N2/He/H2 | 5×108/8×104/7×103 |
| 渦輪泵轉速 | 36.000 RPM |
| 啟動時間 | ＜60S |
| 安裝位置 | 任意 |
| 運行溫度 | 5°C – 50°C |
| 推薦前級泵 | DS42 DS302 |
| 入口法蘭直徑 | KF40 |
| 前級法蘭直徑 | KF16 |
| 重量 | 16.7Kg |
三、檢漏儀所配置的機械泵的技術參數(shù)
| 抽氣量 | 50HZ：4L/S |
| 抽速 | 50HZ：3L/S |
| 極限分壓強 | 10-4mbar |
| 極限總壓強 | 2×10-3mbar |
| 帶氣振閥的極限總壓強 | 1×10-3mbar |
| 水蒸氣壓強 | 30mbar |
| 水蒸氣容量 | 350g/h |
| 油體積 最小/ | 0.25/0.6 |
| 發(fā)動機功率 | 0.75kw |
| 轉速 50HZ rpm | 1500 |
| 重量 | 25Kg |
| 進氣口法蘭 | 25KF DN |
| 排氣口法蘭 | 25KF DN |
李經(jīng)理（微信同號）；028-
