B.主要技術(shù)指標(biāo):
1、測(cè)量原理:觸針法,差動(dòng)電感傳感器; 2、垂直測(cè)量范圍:4/40/400μm; 3、示值誤差:≤±5%; 4、最小分辨力:0.001μm 5、取樣長(zhǎng)度:0.08,0.25,0.8,2.5,8mm; 6、評(píng)定長(zhǎng)度:N倍取樣長(zhǎng)度,N=1,2,3,4,5; 7、數(shù)字濾波器:國(guó)際、相位校正、不濾波、高斯; 8、粗糙度測(cè)量參數(shù):Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rq,Rsm,Rt,Rsk,Rku,Rdq(符合GB/T 3505-2000定義); 9、圖像分析功能:輪廓曲線-NR,輪廓曲線-支承率,支承率-圖表等; 10、直接輪廓測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量參數(shù):Pa,Pc,Pp,Pv,Pz,Pq,Psm,Pt,Psk,Pku,Pdq(符合GB/T 3505-2000定義); 11、直線度測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量參數(shù):Pt,Pp,Pv,|X2--X1|,|Y2-Y1|; 12、輪廓圖形的垂直放大倍率:10,100,200,500,1000,2000,5000,10000,20000,50000,100000,200000; 13、輪廓圖形的水平放大倍率:2,5,10,20,50,100,200,500,1000,2000,5000; 14、驅(qū)動(dòng)箱滑行長(zhǎng)度:100mm; 15、驅(qū)動(dòng)箱滑行速度:0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s 16、傳感器返回形式:手動(dòng),自動(dòng); 17、基準(zhǔn)導(dǎo)軌的直線性:1μm/100mm; 18、傳感器測(cè)針:金剛石圓錐,錐角90°,針尖半徑2μm; 19、立柱結(jié)構(gòu):滾動(dòng)絲杠升降系統(tǒng),快慢速機(jī)動(dòng)升降,自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)零位; 20、立柱上升高度:480mm; 21、工作底臺(tái):450mm×600mm 大理石平臺(tái)。 |