好處
- Fully compatible with competive products
- 全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
- 電源接通后快速穩(wěn)定
- 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
- 防腐陶瓷傳感器
- 的長(zhǎng)期信號(hào)穩(wěn)定性
- 溫度補(bǔ)償
- 傳感器防污染保護(hù)
- 一鍵調(diào)零功能
- 電源范圍廣
典型應(yīng)用
- 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
- 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示制造設(shè)備
- 工業(yè)真空設(shè)備
- 常規(guī)高精度壓力測(cè)量
規(guī)格
類(lèi)型 | 1000 Torr / 1100 mbar | 500 ... 10 Torr / mbar | 1 Torr / mbar | 0.25 Torr | 0.1 Torr / mbar | |
---|---|---|---|---|---|---|
精度 (1) | % of reading | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.25 | 0.5 |
溫度效應(yīng) | ||||||
零點(diǎn) | percent FS/°C | 0.005 | 0.005 | 0.015 | 0.02 | 0.02 |
滿(mǎn)量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.03 | 0.03 |
分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
壓力, | kPa (absolute) | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
反應(yīng)時(shí)間 (2) | ms | 30 | 30 | 30 | 130 | 130 |
讀數(shù) | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
建議的讀數(shù) | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
建議的控制壓力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
溫度 | ||||||
運(yùn)行(環(huán)境) | °C | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 |
在法蘭處烘烤 (3) | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
貯存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 |
電源電壓 | V (dc) | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 |
功耗 | W | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
輸出信號(hào)(模擬) | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
保護(hù)等級(jí) | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | |
標(biāo)準(zhǔn) | ||||||
CE 合規(guī) | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | |
ETL 認(rèn)證 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | |
電氣連接 | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | |
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | |
內(nèi)部容積 | ||||||
1/2'' 管 | cm³ (in.³) | |||||
DN 16 ISO KF | cm³ (in.³) | |||||
DN 16 CF-R | cm³ (in.³) | |||||
8 VCR® | cm³ (in.³) | |||||
重量 | ||||||
1/2'' 管 | g | |||||
DN 16 ISO KF | g | |||||
DN 16 CF-R | g | |||||
8 VCR® | g |
(1) 非線性,遲滯,在 25 °C 環(huán)境工作溫度中的可重復(fù)性,2 小時(shí)工作后無(wú)溫度影響。
(2) 提高 10 … 90 % FS
(3) 非運(yùn)行
(4) CDG025D-S
(5) 28% 鎳,23% 鉬,49% 鐵
(6) 18% 鉻,10% 鎳,3% 鉬,69% 鐵
零件號(hào)
1000 Torr / 1100 mbar | |
---|---|
零件號(hào) | 明細(xì) |
375-000 | CDG025D 1`000 Torr; 1/2¨tube |
375-001 | CDG025D型陶瓷薄膜規(guī) |
375-002 | CDG025D 1`000 Torr; DN16CF-R |
375-003 | CDG025D 1000 Torr; 8-VCR |
376-000 | CDG025D 100 Torr; 1/2¨tube |
376-001 | CDG025D 100 Torr; DN16ISO-KF |
376-002 | CDG025D 100 Torr; DN16CF-R |
376-003 | CDG025D 100 Torr; 8-VCR |
377-000 | CDG025D 10 Torr; 1/2¨tube |
377-001 | CDG025D型陶瓷薄膜規(guī) |
377-002 | CDG025D 10 Torr; DN16CF-R |
377-003 | CDG025D 薄膜規(guī) |
378-000 | CDG025D 1 Torr; 1/2¨tube |
378-001 | CDG025-D薄膜規(guī) |
378-002 | CDG025D 1 Torr; DN16CF-R |
378-003 | CDG025D型陶瓷薄膜規(guī) |
379-000 | CDG025D 0.1 Torr; 1/2¨tube |
379-001 | CDG025D 0.1 Torr; DN16ISO-KF |
379-002 | CDG025D 0.1 Torr; DN16CF-R |
379-003 | CDG025D 0.1 Torr; 8-VCR |
383-001 | CDG025D 20 Torr; DN16ISO-KF |
數(shù)據(jù)表
手冊(cè)
手冊(cè)
三維步驟文件
其他文件