ZYGO的Verifire™ 干涉儀系統(tǒng)可對(duì)平面或球面進(jìn)行快速高精度測量,并可傳輸光學(xué)系統(tǒng)和組件的波前。
測量玻璃或塑料光學(xué)元件 - 如平面,透鏡和棱鏡 - 甚至精密加工的金屬和陶瓷表面。
作為真正的激光Fizeau設(shè)計(jì),Verifire™系統(tǒng)擴(kuò)展了ZYGO在表面形狀測量方面的經(jīng)驗(yàn)。
軸上配置與ZYGO的采集算法和全功能Mx™計(jì)量軟件相結(jié)合,可實(shí)現(xiàn)具有高級(jí)分析功能的高精度表面形狀測量。
動(dòng)態(tài)世界的自信計(jì)量
ZYGO提供的技術(shù)可在惡劣的環(huán)境中進(jìn)行可靠的測量,在這些環(huán)境中振動(dòng)和空氣湍流可能非常。
QPSI™抗振干涉測量消除了腔內(nèi)小振動(dòng)引起的相位數(shù)據(jù)紋波,同時(shí)保持了高精度的軸上測量配置。
ZYGO專有的QPSI數(shù)據(jù)采集由ZYGO制造的高功率HeNe激光源和軟件算法實(shí)現(xiàn) - 沒有其他振動(dòng)容限采集技術(shù)可比。
DynaPhase ®振動(dòng)不敏感的干涉凍結(jié)振動(dòng)和空氣湍流,使計(jì)量在環(huán)境中。獲得的原位校準(zhǔn)可確保精確度和無法匹配的計(jì)量信心。
新的DynaPhase®采集模式現(xiàn)已作為Verifire系統(tǒng)上的選項(xiàng),增加更多的價(jià)值,以這個(gè)主力干涉。
穩(wěn)定,長壽命,高功率激光
ZYGO專有的激光源是在康涅狄格州米德爾菲爾德設(shè)計(jì)和制造的。激光器超過了通常用于激光干涉儀產(chǎn)品的市售HeNe激光器的功率和壽命。
我們的激光器具有超過60,000小時(shí)的使用壽命,可提供的3年保修,限度地減少停機(jī)時(shí)間并限度地提高您的投資回報(bào)率。
Verifire系統(tǒng)與標(biāo)準(zhǔn)ZYGO 干涉儀配件兼容,擴(kuò)展了系統(tǒng)的多功能性。這包括我們的ZYGO認(rèn)證參考光學(xué)元件,確保我們的激光干涉儀具有性能。
比較受振動(dòng)影響的表面測量,以及使用QPSI™技術(shù)測量的相同表面。