技術特點

可選的紫外臭氧發(fā)生器，使測量精確可靠

可選光度計實現精確控制

存儲器不易丟失，校準序列覆蓋周期長達一年

調取存儲數據及診斷信息可通過前面板，方便快捷

多個氣體校準口，可配置單氣體或多混合氣體

技術指標

流量測量精度:±1%滿量程

流量控制再現性:±0.2%滿量程

流量測量的線性:±0.5% 滿量程

稀釋氣的流量范圍:0-10SLPM

可選量程:0-20SLPM,0-5SLPM

鋼瓶氣的流量范圍:0-100cc/m

可選量程:0-50cc/分,0-200cc/分

零氣源要求:10SLPM@30psi

可選:20SLPM@30psi

輸入壓力:20-40psig

校準氣體輸入口:4(可配置)

稀釋氣體輸入口:1

臭氧發(fā)生器模塊

輸出:6ppmLPM

最小輸出:100ppbLPM

反應時間:180s至98%

光反饋:標準

穩(wěn)定性（7天）:帶光度計的1%，不帶光度計的3%

線性:帶光度計的1%，不帶光度計的3%

紫外光度計選項

量程:0-100ppb至0-10ppm(可選)

精度:1.0ppb

線性:1.0%讀數

升降時間:<20s(光度計響應)

響應時間:180s到95% (系統響應)

零點漂移:<1.0ppb/24小時

跨度漂移:<1%/24小時

電源要求:85V-264V,47Hz-63Hz

模擬輸出(測試通道):10V,5V,1V,0.1V,(可選)

已含I/O:1 x 以太網: 10/100Base-T

2 x RS232 (300-115,200 baud)

2 x USB 裝置端口

8 x 數字控制輸出

12 x 數字控制輸入

8 x 數字狀態(tài)輸出

運行溫度范圍:5-40ºC

尺寸 (HxWxD):7”x17”x24”(178x432x609mm)

重量:31lbs(14.06 kg)

39.2 lbs(17.78 kg)帶光度計,GPT及臭氧發(fā)生器