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SuperView W1-Pro光學3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。SuperView W1-Pro光學3D表面......

SuperView W1-Pro光學3D表面輪廓儀產品詳情

產品型號：SuperView W1-Pro

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY位移平臺：尺寸300×300mm，行程200×200mm，電動
Z軸行程：100mm，電動
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
可測樣品反射率：0.05%-99%
水平調整：±5°手動
粗糙度RMS重復性：0.005nm
臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ
主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效

一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進行切換界面，預先設置好配置參數(shù)再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能。
測量中提供自動多區(qū)域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。
測量中提供拼接測量功能。
分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結構分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設置分析模板，結合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

半導體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC

3C電子.藍寶石玻璃粗糙度、手機金屬殼模具瑕疵、手機油墨屏高度差

超精密加工.光學透鏡	精密加工.發(fā)動機葉片

精密加工.金字塔型金剛石磁頭	標準樣塊.單刻線臺階、多刻線粗糙度

復合材料測量

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清華大學超光滑陶瓷樣件測量

北航超疏水表面形貌檢測

關鍵詞：輪廓儀標準

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