產(chǎn)品簡介：PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計算機控制技術(shù)、軟件編程技術(shù)，采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵，清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時間內(nèi)*清洗掉有機污染物，清洗程度可達到分子級。PCE-6V小型等離子清洗機的樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現(xiàn)對樣品的離子蝕刻。此外，其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。設(shè)備體積小，操作簡單，應(yīng)用廣泛。
產(chǎn)品名稱 | PCE-6V小型等離子清洗機 |
產(chǎn)品型號 | PCE-6V |
主要特點 | 1、采用氣體作為清洗介質(zhì)，避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。 2、可短時間內(nèi)*清洗掉有機污染物。 3、清洗程度可達到分子級。 4、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。 5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。 6、樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現(xiàn)離子蝕刻。 7、廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電壓：AC220V 10A 2、消耗功率：<>（包括真空泵） 3、RF電源：輸出功率100W，輸出頻率13.56MHz 4、腔體：?190mm×98mm 5、石英管：?180mm×55mm，壁厚7mm 6、內(nèi)腔：?165mm×55mm 7、清洗電極：?120mm 8、樣品臺：?150mm，有效尺寸?140mm 9、樣品臺與電極間距：15mm-50mm可調(diào) 10、抽氣管：?12mm 11、極限真空度：0.1Pa 12、工作真空度：60Pa-500Pa 13、氣路數(shù)量：2路（選裝） 14、流量控制器數(shù)量：1、2 15、流量顯示儀：2通道 16、氣路接口：?6mm 17、加熱樣品臺：?140mm，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝） 18、冷卻水壓力：0.2KPa-0.4KPa 19、工作環(huán)境：溫度5℃-35℃，濕度<>（相對濕度）不結(jié)露，海拔高度0-2000m |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵），重量：20kg（不含真空泵） |
可選配置 | 1、加熱樣品臺 2、流量控制器（量程10、50、100，可增加通道數(shù)≤2） |
