| 設(shè)備名稱 | 帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD—OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL （2019.12.11—科晶實(shí)驗(yàn)室審核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫對(duì)薄膜的損壞； ? 可通過爐體滑動(dòng)來達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果； ? 爐體有兩個(gè)溫區(qū)，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度，兩個(gè)溫區(qū)溫差為400℃； ? 帶有預(yù)熱爐，氣體可通過此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 加熱爐參數(shù) | ? 連續(xù)工作溫度為1100℃ ? 兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；兩個(gè)溫區(qū)溫差為：400℃ ? 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時(shí)延長儀器的使用壽命。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料） ? 工作電源：208-240V AC單相，功率：4KW
更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 預(yù)熱爐參數(shù) | ? 溫度：1100℃； ? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃； ? 氣體通過等離子射頻電源前，先通過預(yù)熱爐，也可將固體和液體原料放在預(yù)熱爐中，氣化后與氣體原料相混合
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| 電動(dòng)滑軌 | ? 可將電動(dòng)滑軌安裝在爐體下端，將爐體滑動(dòng)，以達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果 ? 滑動(dòng)速度：0-70 mm/s（可調(diào)） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 升降溫速率 | ? RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi)，將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費(fèi)用在本公司購買） ? 為獲得的升溫速率，可將爐體升溫到設(shè)定溫度，然后將爐體滑到樣品放置區(qū)
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| 射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。
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| 真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達(dá)10-2Torr。
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| 供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。
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| 產(chǎn)品尺寸和重量 | ? 爐體尺寸：550mm L ′380mm W′520mm H ? 滑軌長度：1750 mm ? 凈重：220 Lbs | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證 ? 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證
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| 承諾 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
