| 設(shè)備名稱 | 小型滑動PECVD管式爐系統(tǒng)—OTF-1200X-50S-PE-SL （2019.12.23—科晶實(shí)驗室審核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗室邀請?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗溫度； ? 可通過爐體滑動達(dá)到快速升溫和降溫； ? 可通過射頻電源的頻率來控制薄膜的應(yīng)力； ? 可通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計量； ? 可沉積各種材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
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展示視頻 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 加熱爐參數(shù) | ? 溫度：1100℃（<> ? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃； ? 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW； ? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命（點(diǎn)擊文字了解涂層的詳細(xì)參數(shù)）。
更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗條件的需求。
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| 真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達(dá)10-2Torr。
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| 供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進(jìn)出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。
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| 產(chǎn)品尺寸和重量 | ? 尺寸：1500mm L′600mm W′1200mm H ? 凈重：160 kg ? 運(yùn)輸重量：220 kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證 ? 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證
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| 承諾 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
