嵌入式動(dòng)態(tài)配氣系統(tǒng)SSGM-5:本設(shè)備可用于氣體傳感器等方面的研究,適用于半導(dǎo)體、集成電路工藝、特種材料學(xué)科、環(huán)境保護(hù)、工業(yè)衛(wèi)生、科研、教學(xué)、化工、石化等部門的定量配氣。
嵌入式動(dòng)態(tài)配氣系統(tǒng)SSGM-5主要優(yōu)點(diǎn)是:
1、可根據(jù)需求,任意設(shè)置各氣體配比濃度的范圍
2、可配比CH4、H2等有毒或危險(xiǎn)氣體
3、智能控制,可通過(guò)軟件進(jìn)行配氣濃度和氣體選擇
4、擁有有毒、可燃?xì)怏w預(yù)警裝置,保證實(shí)驗(yàn)安全
5、可根據(jù)用戶需求進(jìn)行選配配置,可拓展物聯(lián)網(wǎng)無(wú)線功能
主要是用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制,配置出滿足需要的不同組份濃度的各種標(biāo)準(zhǔn)氣體。本配氣儀采用質(zhì)量流量比混合法,是一種動(dòng)態(tài)配氣法,通過(guò)嚴(yán)格控制一定比例的組份氣體,并加以混合而制定標(biāo)準(zhǔn)氣體。與瓶裝標(biāo)準(zhǔn)氣相比,使用該方法能夠在同一配氣系統(tǒng)上,可以配置出滿足需要的不同組份濃度的各種標(biāo)準(zhǔn)氣,配制的目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度種類多樣且連續(xù)可調(diào);可稀釋范圍寬;通過(guò)PID調(diào)節(jié)法精密計(jì)算,系統(tǒng)不受環(huán)境溫度與壓力變化影響; 可以適用于配制高、低濃度的多種目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體,甚至包括爆炸性氣體 、可燃?xì)怏w、毒性氣體等,具有很好的應(yīng)用價(jià)值;采用氣體質(zhì)量流量計(jì)控制每一路所需的原料氣體的流量,可以控制配制目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體的總流量,實(shí)現(xiàn)連續(xù)配制并供給目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體,使用方便、靈敏度高、精度高。