•與鍍膜相對應(yīng)，本系統(tǒng)專為蝕刻，開發(fā)及清洗過程而 設(shè)計；
•針對許多混合水試劑的應(yīng)用提供的解決方案；
•可以和650控制器，SPIN3000軟件配套使用
•針對許多混合水試劑的應(yīng)用提供的解決方案；
•可以和650控制器，SPIN3000軟件配套使用
EDC 系統(tǒng)
這是一種靈活，安全和實惠的研發(fā)工具，EDC 系列常被 應(yīng)用在以溶劑和水為基礎(chǔ)的處理過程：蝕刻-清洗-干燥，開發(fā)-沖洗-干燥，以及利用溶劑和水的清洗。其旋轉(zhuǎn) 涂敷機(jī)部分，具有多種板載滴膠閥的零孔隙度特富龍流 體路徑等特點，干凈的ECTFE圓頂蓋使用戶能夠?qū)崟r觀 察過程的安全運行，記事是每一單步處理過程模式也可以（Laurell *的性能）。
EDC 系統(tǒng)具有可編程閥，它可以使單注射器試劑滴膠按 照蝕刻，開發(fā)和清洗應(yīng)用的要求重復(fù)進(jìn)行，如沖洗（通常是去離子水或溶劑），然后干燥（通常是氮氣）等zui 后的處理步驟。采用此序貫閥門技術(shù)的晶圓片和管道在 *干燥的環(huán)境中開通和關(guān)閉處理過程。隔離和獨立的 給水器可處在靜態(tài)的位置還可以蓋內(nèi)調(diào)節(jié)。本系統(tǒng)還有可選擇的動態(tài)線性或徑向滴膠的特性。雖然在這些過程 中常采用非真空轉(zhuǎn)頭，該系統(tǒng)仍然具備真空下壓能力。
當(dāng)邊緣控制型或真空型轉(zhuǎn)頭附上稱底時，門插銷、門鎖 和電氣聯(lián)鎖為此提供多重保護(hù)，也包括大容積的廢液和 廢氣排出口。
一般特點：
•型號8 系列為200毫米晶圓設(shè)計和15個系列為300毫米晶圓設(shè)計
•數(shù)碼控制處理器
•天然結(jié)實的聚丙烯材料NPP，并帶連鎖門
•清晰可視的ECTFE圓頂蓋子
•特氟隆材質(zhì)的控制閥
•可調(diào)節(jié)的氮氣擴(kuò)散處理裝置
•可調(diào)降流式排氣及排水（含10’ 柔性導(dǎo)管）裝置
•電動雙絕緣和超載保護(hù)
•安全門聯(lián)鎖（不允許旋轉(zhuǎn)和試劑滴膠過程中打開處理腔）
•安全門閉鎖（需要特別按鍵才能打開處理腔）
•安全門鎖（當(dāng)程序正在運行或運行結(jié)束后轉(zhuǎn)頭仍在旋轉(zhuǎn)時，處理腔無法打開。）
一些可供選擇：（參照具體配置要求）
•不銹鋼壓力容器
•雙重保護(hù)的ECTFE包裹不銹鋼壓力容器（通常為單一4 升瓶）
•多重輸出注射器
•英制或公制尺寸非真空晶圓轉(zhuǎn)頭
•帶微型支架的非真空轉(zhuǎn)頭
•真空轉(zhuǎn)頭
•真空轉(zhuǎn)接器（為小至3毫米小片稱底設(shè)計的）
•還可提供其他一些轉(zhuǎn)頭，可根據(jù)樣品或具體的尺寸，包括厚度和所有公差要求來自定義。
