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aixDBLI 雙光束激光干涉儀

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  • 型號(hào)aixDBLI
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2022-01-06
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)北京市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量478
  • 人氣值8120
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雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數(shù)d33的測(cè)試。適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。半自動(dòng)的系統(tǒng)用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關(guān)性能的測(cè)試。大量樣品測(cè)試的重復(fù)精度可達(dá)2%以上。
雙光束激光干涉儀 產(chǎn)品詳情

雙光束激光干涉儀




雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數(shù)d33的測(cè)試。
適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。
半自動(dòng)的系統(tǒng)用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關(guān)性能的測(cè)試。
大量樣品測(cè)試的重復(fù)精度可達(dá)2%以上。

測(cè)試功能:
機(jī)電大信號(hào)應(yīng)變、極化、壓電系數(shù)、小信號(hào)介電常數(shù)。
疲勞和電性及機(jī)械性能可靠性。

樣品測(cè)試:
極化曲線和位移曲線。
小信號(hào)電容及壓電系數(shù)。

技術(shù)參數(shù):
分辨率: ≤1 pm(X晶向的石英)
測(cè)量范圍:5pm- +/- 25nm
波長(zhǎng):632.8nm
位移/應(yīng)力測(cè)試:>50Hz,zui小1Hz分辨率,100mV到10V(可選到200V)
壓電d33系數(shù):
  基電壓100mV到10V(1mHz到1Hz),可選到200V
  小信號(hào)100mV到10V(1kHz到5kHz)
C-V測(cè)試:
  基電壓100mV到10V(1mHz到1Hz),可選到200V
小信號(hào)100mV到10V(1kHz到5kHz)

關(guān)鍵詞:激光干涉儀
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