液體流量計 SLQ-QT105
針對半導體應用
SLQ-QT105針對要求苛刻的涂料系統(tǒng)的定做，是高達120 ml/min流量的烴基液體的半導體級-傳感器解決方案。
該傳感器基于Sensirion成熟的熱式傳感器技術，開辟了靈敏度、可靠性和速度方面的新前景。SLQ-QT105的快速響應時間有助于高度動態(tài)過程的準確監(jiān)測，如快速分配操作。該傳感器配備4x3mm PFA管件，無運動部件，通過一個筆直的流道壁進行非侵入性測量。所提供的智能數(shù)字接口(如RS485)可實現(xiàn)具有總線能力的遠距離通訊。
對于120 ml/min流量的水基液體或高粘度液體，請參閱我們的液體流量計SLQ-QT500。
性能參數(shù)
- 烴基液體的流量：120 ml/min
- 適用于光致抗蝕劑和溶劑
- 低至流量的靈敏度
- 快速響應時間低至30 ms
- RS485、USB或0-10 V模擬電壓輸出
- 的耐化學性
- 惰性觸液材質：PCTFE、PFA和石英玻璃材料
- 保證純度
- 筆直流道，無運動部件
- 工作壓力：3 bar（可按要求提供高壓強等級）
應用
- 半導體過程控制
- 光刻膠分配
- 快速給藥操作
下載中心
您可以從這里下載有關Sensiron液體流量計的文件。
Sensirion被信賴于:
相關產品
液體流量傳感器 SLF3x
SLF3x 從根本上優(yōu)化機械設計，不斷完善傳感器的功能，并將性價比提升到全新水平。該傳感器可提供的安全性、穩(wěn)定性和長期可靠性，應用領域廣泛。
液體流量計 SLI
SLI液體流量計適合集成到高要求的流體系統(tǒng)，確保低流量的高精度測量，使可靠和準確的劑量成為可能。
液體流量計 SLS-1500
SLS-1500液體流量計可實現(xiàn)0–40 ml/min范圍內的快速和精確測量。傳感器的惰性觸液材質可提供的耐化學性和生物相容性。
液體流量計 SLQ-QT500
多功能SLQ-QT500液體流量計可測量水基液體以及碳氫化合基液體，測量流量范圍為0–120 ml/min，適用于各種劑量和流量應用。
液體流量計 SLG
SLG液體流量計系列是監(jiān)測UHPLC應用中快速變化的超低流量的理想選擇，同時提供耐高壓的流道和快速響應時間。
液體流量計 LG16
小型、耐壓型LG16液體流量計適用于測量小于80 ml/min的流量。由于響應時間短，該傳感器可以檢測氣泡。
液體流量計 LG01
流量開關和氣泡檢測器LG01可測量每分鐘幾毫升以下的流量。它具有良好的生物相容性和耐化學性。
液體流量計 LS32-1500
緊湊的LS32-1500液體流量計可測量0–40 ml/min范圍的流量，堅固耐用，同時具有良好的可重復性和快速響應時間。
液體流量計套件
為了快速和簡便地測量所有SLI、SLS、SLG，或SLQ液體流量計，您可以訂購測試套件。液體流量計套件為您提供傳感器性能的印象。
定制的(OEM)液體流量計
除了標準的液體流量傳感器解決方案，我們也以吸引力的性價比提供定制化OEM傳感器解決方案。我們可為您調整或開發(fā)定制的液體流量計。
液體流量傳感器 LPG10
面積僅為10 mm × 10 mm的LPG10 OEM液體流量傳感器可為微升到1毫升范圍內的流量測量提供智能、準確和快速的傳感器解決方案。
液體流量傳感器 LD20
LD20一次性液體流量傳感器可測量0–10 ml/min范圍內的流量。具有成本效益的該傳感器可實現(xiàn)醫(yī)學和生物醫(yī)學技術領域安全而可靠的應用。
