TMC 主動(dòng)隔振系統(tǒng) 帶寬0.6-150Hz 森泉光電

STACIS^®III是先jin的主動(dòng)振動(dòng)隔離系統(tǒng)。采用慣性振動(dòng)傳感器、復(fù)雜的控制算法和壓電致動(dòng)器，STACIS通過(guò)連續(xù)測(cè)量地板活動(dòng)，擴(kuò)大和收縮壓電致動(dòng)器過(guò)濾地板振動(dòng)來(lái)進(jìn)行實(shí)時(shí)振動(dòng)隔離。

起初被設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體工廠的精密顯微光刻、計(jì)量和檢測(cè)設(shè)備振動(dòng)隔離， STACIS現(xiàn)在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，它廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米加工設(shè)備和材料研究。

Stacis III包括一個(gè)新型改進(jìn)的數(shù)字控制器—DC-2020。它搭載 zui 新 gao 效 的雙核處理器，前后面板上都配備以太網(wǎng)和USB串口，新型控制系統(tǒng)為用戶(hù)提供了一個(gè)現(xiàn)代的、易于使用的圖形用戶(hù)界面(GUI)。

Stacis III在世界各地有數(shù)百個(gè)成功安裝案例，對(duì)于大部分振動(dòng)敏感儀器來(lái)說(shuō)都是 zui 理想 的振動(dòng)消除系統(tǒng)。

Stacis^®III優(yōu)勢(shì)

STACIS相比于氣浮支腿更加堅(jiān)固可靠，且不存在氣浮隔振系統(tǒng)離不開(kāi)氣源的局限性。它無(wú)氣浮支撐，并且與主動(dòng)的氣浮系統(tǒng)不同，STACIS可以放置在具有內(nèi)部主動(dòng)空氣隔離系統(tǒng)的設(shè)備下面，且兩個(gè)隔振系統(tǒng)相互兼容。

設(shè)計(jì)有 du 特 的通信串口和專(zhuān)有high-force壓電技術(shù)導(dǎo)致其具有大的主動(dòng)帶寬0.6赫茲到150赫茲，以及從2Hz開(kāi)始主動(dòng)振動(dòng)消除性能可達(dá)到90%。

特點(diǎn)&優(yōu)點(diǎn)

• 從0.6Hz開(kāi)始隔離振動(dòng)，1Hz時(shí)可隔振40%到70%

• 2Hz時(shí)在高度、水平和垂直三個(gè)方向上提供超過(guò)90%的振動(dòng)隔離

• 減少工廠地板鋪設(shè)成本，使設(shè)備能夠安裝在較強(qiáng)振動(dòng)環(huán)境中

• 主動(dòng)帶寬：0.6Hz到150Hz

• 設(shè)備制造商竭力推薦

• 六自由度活動(dòng)硬性底座設(shè)計(jì)，無(wú)氣浮支撐

• 魯棒控制系統(tǒng)，不需要預(yù)先調(diào)適

• 可與設(shè)備內(nèi)置隔振系統(tǒng)兼容

• 當(dāng)環(huán)境振動(dòng)水平隨時(shí)間增加時(shí)，確保設(shè)備滿(mǎn)足自身的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)

• 利用TMC Stacis®技術(shù)通過(guò)壓電陶瓷致動(dòng)器來(lái)消除振動(dòng)

• 帶有基于計(jì)算機(jī)的圖形用戶(hù)界面(GUI)的數(shù)字控制器

• 在舊的、有噪音的地板上也可以安裝使用

• 兼容各種地板的高度和類(lèi)型

• TMC關(guān)注Stacis III隔振性能，提供全面的售后服務(wù)

TMC 主動(dòng)隔振系統(tǒng) 帶寬0.6-150Hz 森泉光電

性能特性                                                                       DC-2020 控制器特點(diǎn)

隔離器尺寸、環(huán)境和設(shè)備使用要求

應(yīng)用注釋

如下圖所示的45納米線(xiàn)寬測(cè)試模型圖是Amphibian Systems公司生產(chǎn)，安裝在德克薩斯州奧si汀SEMATECH的浸沒(méi)式光刻系統(tǒng)測(cè)試模型。

設(shè)備一開(kāi)始被安裝在由鋼制支撐結(jié)構(gòu)支撐的鋼鐵混凝土基座（商用彈性體隔振墊）上，但是這臺(tái)基座沒(méi)有達(dá)到設(shè)備指ding的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)，模型圖品質(zhì)較差。

把底座的支撐結(jié)構(gòu)移走，用主動(dòng)壓電振動(dòng)消chu系統(tǒng)STACIS來(lái)進(jìn)行改裝。將STACIS直接安裝在已有的底座下面。用STACIS來(lái)支撐設(shè)備顯著減少整體振動(dòng)水平，以達(dá)到生產(chǎn)商的地面振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)。更重要的是，STACIS顯著地改shan了模型品質(zhì)。

森泉為您的科研事業(yè)添磚加瓦：

激光控制：激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設(shè)備與系統(tǒng)等等

探測(cè)器：光電探測(cè)器、單光子計(jì)數(shù)器、單光子探測(cè)器、CCD、光譜分析系統(tǒng)等等

定位與加工：納米定位系統(tǒng)、微納運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、多維位移臺(tái)、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、微型操作器等等

光源：半導(dǎo)體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線(xiàn)寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等

光機(jī)械件：用于光路系統(tǒng)搭建的 gao 品 zhi 無(wú)應(yīng)力光機(jī)械件，如光學(xué)調(diào)整架、鏡架、支撐桿、固定底座等等

光學(xué)平臺(tái)：主動(dòng)隔振平臺(tái)、氣浮隔振臺(tái)、實(shí)驗(yàn)桌、剛性工作臺(tái)、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等

光學(xué)y件：各類(lèi)晶體、光纖、偏轉(zhuǎn)鏡、反射鏡、tou射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等

染料：激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發(fā)光染料、吸收染料等等