工作臺(tái)尺寸 | ?160mm調(diào)心/調(diào)傾斜范圉,士2mm/士1° |
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機(jī)構(gòu) · 方式 | 多孔質(zhì)靜壓空氣軸承 · 工作臺(tái)回轉(zhuǎn)式 |
回轉(zhuǎn)精度 | (0.04+0.0006H)µm H:工作臺(tái)面上算起的高度(mm) |
測(cè)定徑 | ?250mm |
上下移動(dòng)量 | 260mm(使用b觸針臂時(shí))測(cè)量高度265mm 可粗動(dòng)or微調(diào)整 |
裝載徑/重量 | ?400mm/20kg |