美國(guó)BECKMAN MetOne 3411 塵埃粒子計(jì)數(shù)器產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
美國(guó)BECKMAN MetOne 3411 便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器適用于半導(dǎo)體潔凈室監(jiān)測(cè)、過(guò)程標(biāo)記和顆粒故障排除等方面的應(yīng)用。MET ONE 3411 具有業(yè)界ling xian 的 ISO 21501 數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性，是業(yè)內(nèi)zui 潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器。
美國(guó)BECKMAN MetOne 3411 塵埃粒子計(jì)數(shù)器產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：
專應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的空氣顆粒計(jì)數(shù)：
潔凈室驗(yàn)證監(jiān)測(cè)
潔凈室的分級(jí)
ISO14644潔凈室驗(yàn)證
潔凈室顆粒物監(jiān)測(cè)
生產(chǎn)過(guò)程的連續(xù)監(jiān)測(cè)
顆粒污染源的排除過(guò)程
HEPA過(guò)濾器檢漏，粒徑大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
過(guò)濾器掃描
高壓氣體監(jiān)測(cè)可簡(jiǎn)單地通過(guò)氣體選擇菜單選擇相應(yīng)氣體，流量會(huì)自動(dòng)調(diào)整
空氣顆粒計(jì)數(shù)器生命科學(xué)標(biāo)準(zhǔn)及委員會(huì)：
化組織 (ISO)
ISO14644潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境
ISO 21501顆粒分布測(cè)確定--用于無(wú)塵空間的光散射顆粒計(jì)數(shù)器
環(huán)境科學(xué)與技術(shù)研究所 (IEST)
美國(guó)BECKMAN MetOne 3411 塵埃粒子計(jì)數(shù)器產(chǎn)品特點(diǎn)：
可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級(jí)別的顆粒計(jì)數(shù)器能讓排氣扇點(diǎn)塵不染
熱插拔電池-確保儀器長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行
由于儀器使用的是熱插拔電池，故無(wú)論儀器是充電還是斷電、計(jì)數(shù)歸零及采用備份電源時(shí)都無(wú)需停機(jī)
測(cè)試向?qū)В═est Wizard）能使您在組織潔凈室時(shí)讓合規(guī)性更容易得到保證
可在監(jiān)控您的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境時(shí)節(jié)省時(shí)間并消除錯(cuò)誤順序采樣系統(tǒng)
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統(tǒng)部署低成本的現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)控解決方案。用單臺(tái) MET ONE 3411 型空氣顆粒計(jì)數(shù)器可依次從多達(dá)32個(gè)位置進(jìn)行順序采樣。
靈活的通訊方式——設(shè)置簡(jiǎn)單，數(shù)據(jù)傳輸方便
供選擇的無(wú)線，以太網(wǎng)和串口通訊可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)組ETONE數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，或者客戶已有監(jiān)控軟件，以便減少文書(shū)工作
直觀的用戶界面
簡(jiǎn)便的區(qū)域，位置和運(yùn)行參數(shù)的配置和復(fù)制，節(jié)約運(yùn)行時(shí)間。只需將完整的配置拷貝到一個(gè) U 盤(pán)中，從而消除參數(shù)設(shè)置錯(cuò)誤，并節(jié)省時(shí)間。還可以在整個(gè)顆粒計(jì)數(shù)組部署采樣計(jì)劃！
符合ISO 21501-4 標(biāo)準(zhǔn)的可靠性和準(zhǔn)確性
于滿足特殊顆粒計(jì)數(shù)要求，儀器與儀器之間的準(zhǔn)確度和再現(xiàn)性*符合 ISO21501-4標(biāo)準(zhǔn)要求。
美國(guó)BECKMAN MetOne 3411 塵埃粒子計(jì)數(shù)器 產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
粒子通道個(gè)數(shù)： | 6個(gè) |
粒徑通道(µm)： | 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0 |
流量： | 11.0 CFM (28.3 Lpm) |
零點(diǎn)計(jì)數(shù)： | ISO 21501-4和JIS B (9921) |
標(biāo)準(zhǔn)： | 在5分鐘1顆或少于1顆, 95% UCL |
很大濃度限制： | 在50,000 /ft3 時(shí)為5% |
通訊： | 通過(guò)以太網(wǎng)、USB數(shù)據(jù)線或U盤(pán)可以直接通過(guò)計(jì)算機(jī)獲取顆粒計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)。不需要設(shè)備驅(qū)動(dòng)或軟件 |
計(jì)數(shù)效率： | 在0.1 μm時(shí)為 50%。根據(jù)ISO 21501-4和JIS B9921，粒徑大于0.15μm時(shí)為 100 |
光源： | 氦氖激光器 |
泵： | 可供連續(xù)使用的專有的多瓣閉路循環(huán)控制泵 |
計(jì)數(shù)顯示： | 彩色1/4英尺VGATFT觸摸屏 |
打印機(jī): | 高速熱敏打印機(jī) |
語(yǔ)言: | 英語(yǔ)、法語(yǔ)、德語(yǔ)、意大利語(yǔ)、西班牙語(yǔ)、韓語(yǔ)、日語(yǔ)、中文 (簡(jiǎn)體中文+繁體中文) |
很大計(jì)數(shù)： | 可顯示9,999,999 |
取樣時(shí)間： | 1秒到23小時(shí)59分59秒 |
保持/延遲時(shí)間： | 0秒到23小時(shí)59分59秒 |
計(jì)數(shù)報(bào)警： | 1到9,999,999個(gè) |
地址 編號(hào): | 1 ～ 9,999,999 |
名稱: | 文字描述，顯示在打印輸出資料上 |
零計(jì)數(shù)等級(jí)： | 1個(gè)/5分鐘（根據(jù)JIS B9921） |
歧管： | 支持 2432 32-端口的多路采樣系統(tǒng) |
數(shù)據(jù)儲(chǔ)存： | 5000個(gè)樣品，可在前面板滾動(dòng)顯示 |
輸出： | USB 客戶端 (版本為 1.1) USB 主機(jī)端 (版本為 1.1) RS485配有TCP/IP 通訊協(xié)議的以太網(wǎng) 配有802.11g通訊協(xié)議的無(wú)線輸出 (可選) MET ONE 2432型多路采樣系統(tǒng) 備用接口 (警報(bào)和掃描探頭) |
通訊協(xié)議： | Modbus TCP，Modbus RTU，串行的FX |
輸入: | 空氣速度傳感器 相對(duì)濕度/溫度探頭 |
自動(dòng)CDA 清洗: | 連接到CDA之后，清洗電磁閥會(huì)被激huo。 |
儀器的保修期: | 2年 |
電池類型： | 鋰電池，可充電，可熱插拔 |
電池個(gè)數(shù): | 2個(gè) |
電池運(yùn)行時(shí)間： | 100 LPM (1.77 CFM) zui短3小時(shí) |
電池充電時(shí)間： | 很少6.75小時(shí)，很多為10個(gè)小時(shí) |
電源： | 24 VDC 3.2A ，配有100~240 VAC 50/60 Hz 適配器 (包含在運(yùn)輸箱中) |
尺寸： | 31.8 W x 25.4 D x 20.3 H cm (12.5 x 10 x 8 inches) |
重量（不含電池）： | 15.9 kg (35 lb) |
電池重量： | 0.66 kg (1.45 lb) |
機(jī)箱材質(zhì)： | 易于清潔的鈍化不銹鋼 |
操作環(huán)境濕度： | 運(yùn)行溫度 0 ~ 40℃ (32~104°F)，相對(duì)濕度為10 ~ 90% ，無(wú)冷凝 |
儲(chǔ)存環(huán)境濕度： | -40 ~ 50℃ (-40 ~ 122°F)，相對(duì)濕度為0 ~ 98%，無(wú)冷凝 |
可選附件： | 能型電池充電器/校準(zhǔn)器：PN 280-300-5000 |
備用電池: | PN 280-120-2024 |
