技術(shù)規(guī)格 | |
觀察頭 | 30°鉸鏈?zhǔn)饺浚?0mm-75mm） |
目鏡 | WF10×/25mm |
| WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板 | |
物鏡 | 平場無限遠長工作 距離明暗場物鏡：5×/0.1B.D/W.D.29.4mm、 10×/0.25B.D/W.D.16mm、 20×/0.40B.D/W.D.10.6mm 、 40×/0.60B.D/W.D.5.4mm |
轉(zhuǎn)換器 | 帶DIC插孔五孔轉(zhuǎn)換器 |
平臺 | 雙層移動平臺 |
| 平臺尺寸: 190mm×140mm | |
| 移動范圍：50mm×40mm | |
濾色片 | 插板式濾色片（綠、藍、中性） |
調(diào)焦 | 粗、微動同軸調(diào)焦，采用齒輪齒條傳動機構(gòu) 微動格值0.002mm |
光源 | 帶孔徑光欄和視場光欄，鹵素?zé)?2V/50W, AC85V-230V，亮度可調(diào)節(jié) |
偏光裝置 | 檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動，起偏鏡、 檢偏鏡均可移出光路 |
檢測工具 | 0.01mm測量尺 |
可供附件 | 二維測量軟件 |
| 專業(yè)金相圖像分析軟件 | |
| 鹵素?zé)?2V/100W | |
| 測微目鏡 | |
| 130萬、200萬、300萬、500萬像素CMOS電子目鏡 | |
平場無限遠長工作距離明暗場物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、 80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm | |
| 精密載物臺:X-Y行程25mm×25mm,移動精度＜5um,數(shù)顯手輪最小值:0.1um,360°旋轉(zhuǎn)盤 | |
| 攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75× | |
| DIC（10×、20×、40×、100×） | |
| 壓平機 | |
| 彩色1/3寸CCD 520條線 | |
特點說明
1． UIS無限遠光學(xué)系統(tǒng)。
2． 采用長壽命鹵素?zé)艄庠吹模庑矢摺?/p>
3． 明暗場、偏光、微分干涉功能。
4． 采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度。
5． WF10×（Φ25）超大視野目鏡、長工作距離明暗場金相物鏡。
6． 可插DIC微分干涉裝置的五孔轉(zhuǎn)換器。
DIC:用諾曼斯基微分干涉襯比法觀察，現(xiàn)己被認為檢驗材料、金屬和半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)*的手段。
