益處
- 測量范圍廣，從 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴（7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托）
- 全金屬冷陰極傳感器（潘寧），帶陶瓷饋入裝置
- 創(chuàng)新的電極幾何形狀提供的點(diǎn)火屬性
- 等離子點(diǎn)火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險(xiǎn)，即使在有氬氣的濺射運(yùn)行中
- 陽極環(huán)和鈦陰極可輕松進(jìn)行清潔或更換
- 最小化真空計(jì)附近的磁場強(qiáng)度
- 用于電源接通和等離子體點(diǎn)火的 LED 指示器
- 對數(shù)模擬輸出信號
- 現(xiàn)場總線接口（Profibus DP、DeviceNet）允許使用網(wǎng)絡(luò)通信將真空計(jì)輕松集成到真空系統(tǒng)中
典型應(yīng)用
- 高真空壓力監(jiān)控
- 蒸發(fā)濺射系統(tǒng)
- 高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
規(guī)格
| 類型 | PEG100 | |
|---|---|---|
| 測量范圍 | 1 x 10-9 to 1 x 10-2 | |
| 精度 | ||
| 10-8 至 10-4 毫巴 | % of reading | ±30 |
| 壓力，（） | bar | 10 |
| 溫度 | ||
| 運(yùn)行（環(huán)境） | °C | +10 to +50 |
| 貯存 | °C | -20 to +75 |
| 無電子設(shè)備，烘烤 | °C | 350 |
| 帶電子元件，在法蘭處烘烤 | °C | 70 |
| 供應(yīng) | ||
| 電壓 | V (dc) | 14.5 to 36 |
| 消耗， | W | <2 |
| 輸出信號模擬 | ||
| 輸出信號 | V | 0 to 10.6 |
| 測量范圍 | V | 0.66 to 10 |
| 電壓與壓強(qiáng)之間的關(guān)系 | volts per decade | 1.333 |
| 連接器 | FCC 68, female, 8 pin (shielded) | |
| 電纜長度，（模擬） | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空的材料 | Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti | |
| 內(nèi)部容積 | cm3 (in.3) | 21 (1.28) |
| 重量，接近 | g | 500 |
| 保護(hù)類型 | IP40 | |
| DeviceNet™ | ||
| 設(shè)備類型 | generic | |
| 顯示對等網(wǎng)絡(luò)傳訊 | no | |
| I / O 對等傳訊 | no | |
| 配置一致性值 | no | |
| 默認(rèn)節(jié)點(diǎn)恢復(fù) | no | |
| 波特率 | kBaud | 125 / 250 / 500 |
| 主板 / 掃描器 | no | |
| I / O 從屬傳訊： 位觸發(fā) | yes | |
| I / O 從屬傳訊： 輪詢 | yes | |
| I / O 從屬傳訊： 周期 | yes | |
| I / O 從屬傳訊： 狀態(tài)改變 (COS) | yes | |
| DeviceNet™ 電源 | V (dc) | 11 to 25 |
| DeviceNet™ 連接器 | Phoenix Combicon, 5 pin | |
| Profibus DP | ||
| 支持的波特率（自動檢測） | kBaud | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500 |
| 擴(kuò)展的用戶參數(shù)數(shù)據(jù) | byte | 5 |
| 配置： 輸入輸出數(shù)據(jù)數(shù)量 | 2 | |
| 同步模式和凍結(jié)模式 | Yes | |
| Profibus 的連接器 | D-sub, 9 pin | |
PEG100 中真空至超高真空真空計(jì)
