功能
- HYDRO-S（氫氣抑制）可確?？焖贊M足所有測(cè)試條件。
- I-CAL（智能 - 泄漏率計(jì)算法）確保了在所有測(cè)量范圍中提供快速泄漏響應(yīng)。
- 特殊的多入口渦輪分子泵可提供優(yōu)化的較高氦氣抽氣能力及全壓力范圍內(nèi)的高氦氣壓縮比，實(shí)現(xiàn)了靈敏度、響應(yīng)度和快速清潔性。
- 增壓渦輪分子泵可對(duì)所有測(cè)試對(duì)象做出極快響應(yīng)，包括容量和腔室。
- 經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的 INFICON 扇形磁場(chǎng)質(zhì)譜儀多年以來(lái)的精確、可重復(fù)結(jié)果實(shí)現(xiàn)了*、免維護(hù)的設(shè)計(jì)。
- 自保護(hù)功能可防止 UL5000 受到氦氣和微粒的污染，自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保 UL5000 的隨時(shí)可用性。
- 旋轉(zhuǎn)式顯示器/控制界面和可選配的手持遙控器實(shí)現(xiàn)了操作靈活性。
- 裝置和系統(tǒng)軟件的訪問(wèn)控制可通過(guò)軟件激活，防止未使用或測(cè)試設(shè)置的意外修改。
- 通過(guò)電子郵件進(jìn)行的軟件更新可確保您的 UL5000 發(fā)揮性能。
- 具有高度工作面的工作站設(shè)計(jì)以及 ESD 臺(tái)墊和工具箱實(shí)現(xiàn)了測(cè)試便利性。
典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體和平板顯示裝置上使用的測(cè)漏部件、配件和大型腔室
- 檢漏半導(dǎo)體和平板工具
- 檢漏航空部件、配件和系統(tǒng)
- 檢漏儲(chǔ)存容器/儲(chǔ)存罐
規(guī)格
| 類型 | UL5000 Helium Leak Detector | |
|---|---|---|
| 氦氣（真空模式）可檢漏率 | mbar?L/s | <5E-12 |
| 氦氣（吸槍模式）可檢漏率 | mbar?L/s | 8E-8 |
| GROSS 模式進(jìn)氣口壓力 | mbar | 15 |
| FINE 模式進(jìn)氣口壓力 | mbar | 2 |
| ULTRA 模式進(jìn)氣口壓力 | mbar | 0.4 |
| 抽真空期間的抽氣能力 | m3/h | 25 at 50 Hz |
| GROSS 模式氦氣抽氣能力 | L/s | max 8 |
| FINE 模式氦氣抽氣能力 | L/s | max 20 |
| ULTRA 模式氦氣抽氣能力 | L/s | >20 |
| 可檢測(cè)質(zhì)量數(shù) | 2,3,4 amu | |
| 質(zhì)譜儀扇形場(chǎng) | 180 °C | |
| 燈絲離子源銥/氧化釔涂層 | 2 | |
| 內(nèi)置校準(zhǔn)測(cè)試漏孔 | E-7 | |
| 測(cè)試端口 | DN40KF | |
| 可調(diào)觸發(fā)器 | 2 | |
| 接口 | RS232 | |
| 圖形記錄器輸出 | 2 x10 V | |
| 輸入/輸出 | PLC compatible | |
| 允許的環(huán)境溫度（操作過(guò)程中） | °C | +10...+40 |
| 保護(hù)類型 | IP 20 | |
| 重量 | 140 | |
| 尺寸（長(zhǎng)x寬x高） | 1068x530x1083 | |
| 電源電壓 | 230(+-10%)50Hz | |
| 功耗 | VA | 1100 |
UL5000
