儀器特點：

1. 主體顯微鏡配有多種目鏡和物鏡，視場大，成像清晰；

2. 采用數(shù)字高精密光柵尺作為計數(shù)系統(tǒng)基礎(chǔ)元件；

3. 電腦控制測量，*的軟件數(shù)值計算系統(tǒng)，測量速度快，可同步打印出數(shù)據(jù)結(jié)果和圖形；

4. 顯微鏡鏡頭可左右偏擺，有利于測量螺旋零件；

5. 雙光束干涉條紋測量法，使數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)性能大幅提高，數(shù)據(jù)圖像可儲存，可追溯性強；

儀器用途：

1. 可測量成型零件如樣板、樣板車刀、樣板銑刀、沖模和凸輪的形狀；

2. 可測量外螺紋（螺紋塞規(guī)、絲桿和蝸桿等）的中徑、小徑、螺距、牙型半角；

以及齒輪滾刀的導程、齒形和牙型角；

3. 測量精密電路板、精密PCB電路板、精密沖壓板、鉆?；蚩装迳系目椎奈恢枚?，鍵槽的對稱度等形位誤差；

4. 適用航空航天，企業(yè)，電動汽車制造業(yè)、精密模具制造，精密滾珠絲桿，計量長度室、計量檢查站，高等院校、科研院所等。

規(guī)格參數(shù)：

1. 測量范圍：

X向行程：200㎜                  圓工作臺直徑：φ213㎜

Y向行程：100㎜                  平工作臺尺寸（㎜）：260×270

2. 測角目鏡角度分劃范圍：360°

3. 頂針的夾緊長度：700㎜螺紋輪廓目鏡角度分劃范圍：±7°

4. 頂針間能容納的直徑：φ100㎜圓工作臺角度分劃范圍：0°~360°

5. 高頂針架夾緊長度：200㎜圓分度頭角度分劃范圍：0°~360°

6. 高頂針架能容納的直徑：φ250㎜

7. 主顯微鏡立柱的傾斜范圍：±12干涉狹縫旋轉(zhuǎn)范圍：±90°

8. 分度值：

X、Y向分度值：0.0002㎜             圓工作臺角度分度值：30″

測角目鏡角度分度值:1′                圓分度頭角度分度值：1′

輪廓目鏡角度分度值：±12           主顯微鏡立柱傾斜角度分度值：30′

9. 測量準確度（被測件與儀器溫度差別不大于0.5℃,儀器室內(nèi)溫度20℃±1℃）：(1+L/100)μm，其中L為測量長度，單位：㎜

10.物鏡放大率，工作距離及視場直徑：

11. 儀器主機外形尺寸(㎜)長×寬×高=1300×1250×800

12. 儀器主機重量：450㎏