智能動(dòng)態(tài)配氣系統(tǒng)SSGM-3：由3個(gè)高壓流量控制器，適用惰性氣體以及腐蝕性氣體（可選全金屬密封）；流量范圍0~500毫升每分鐘；耐壓程度：5MPa（可選10Mpa）；精度等級(jí)：±1%F.S；可用于氮?dú)?、氦氣、氬氣等惰性氣體，也可用于甲烷、烴類(lèi)等可燃?xì)怏w；設(shè)備里面采用高效混氣罐，混氣濃度均勻、平穩(wěn)、高效、快速、精確地混合配比多種氣體；各路MFC控制重復(fù)性精度高達(dá)±0.5%F.S；稀釋比范圍寬，從PPB級(jí)別到PPM級(jí)別到%。
智能動(dòng)態(tài)配氣系統(tǒng)SSGM-3：氣體混合配比不限氣體種類(lèi)和數(shù)量，內(nèi)置精密閥門(mén)，能有效過(guò)濾氣體中的雜質(zhì)以及防止氣體相互干擾，且可根據(jù)氣體的入口壓力來(lái)調(diào)整后端的氣體背壓情況。SSGM系列的動(dòng)態(tài)配氣裝置穩(wěn)定性好，不受溫度和壓力的影響，本裝置配氣穩(wěn)定性好，精確度高，配制值與實(shí)測(cè)值相符。SSGM系列的動(dòng)態(tài)配氣裝置采用智能控制系統(tǒng)，可通過(guò)軟件進(jìn)行配氣濃度和氣體選擇，預(yù)留物聯(lián)網(wǎng)模塊接口，可拓展聯(lián)網(wǎng)功能，提供USB接口，預(yù)留數(shù)據(jù)通訊信號(hào)，可與其他設(shè)備相連接
