性能特點
用途
SMU210系列為型FPD檢查顯微鏡，專為LCD行業(yè)/ TFT玻璃/ COG導(dǎo)電粒子壓痕、粒子爆破檢查 SMU210系列機型采用4寸、6寸平臺設(shè)計，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查特點 SMU210系列，其微分干涉效果可與進口品牌相媲美 SMU210系列機型采用全新設(shè)計的長工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)，采用長壽命LED光源多種高度功能化的附件，能滿足各種檢驗需要，可用于明場、簡易偏光、微分干涉觀察
技術(shù)參數(shù)
配 置 | 參 數(shù) | |||
型 號 | WX40 | WX40（透反） | ||
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學(xué)系統(tǒng) | |||
觀察方法 | 明場/斜照明/偏振光/DIC | 明場/斜照明/偏振光/DIC/透射光 | ||
觀 察 筒 | 30°鉸鏈?zhǔn)饺浚止獗?，雙目：三目=100：0或50：50 | |||
目 鏡 | PL10X/22平場高眼點目鏡 | |||
轉(zhuǎn) 換 器 | 5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 | |||
物 鏡 | 無限遠長工作距明場金相物鏡5X LMPL5X /0.13 WD10.8mm | |||
無限遠長工作距明場金相物鏡10X LMPL10X /0.25 WD10mm | ||||
無限遠長工作距明場金相物鏡20X LMPL20X /0.4 WD4mm | ||||
無限遠長工作距明場半復(fù)消金相物鏡50X LMPLFL50X /0.6 WD7.9mm | ||||
無限遠長工作距明場半復(fù)消金相物鏡100X LMPLFL100X /0.80 WD2.1mm （選配） | ||||
調(diào)焦機構(gòu) | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001，帶粗調(diào)機構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出 | |||
載 物 臺 | 4英寸機械移動平臺,低手們粗微同軸調(diào)節(jié),平臺面積230X215mm,移動范圍：105X105mm,含金屬載物臺板，右手位X、Y移動手輪，配平臺接口 | 4英寸機械移動平臺,低手們粗微同軸調(diào)節(jié),平臺面積230X215mm,移動范圍：105X105mm,含玻璃載物臺板，右手位X、Y移動手輪，配平臺接口 | ||
顯微鏡鏡體 | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001mm,，帶粗調(diào)機構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出 | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001mm,，帶粗調(diào)機構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，雙路電源輸出 | ||
反射照明系統(tǒng) | 帶可變視場光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽；帶斜照明切換拉桿。單顆大功率5W LED，白色，光強連續(xù)可調(diào) | |||
偏光附件 | 檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn)，起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路 | |||
CTV接口 | 1X（標(biāo)配）、1/2X（選配） | |||
透射照明系統(tǒng) | / | 單顆大功率5W LED，白色，光強連續(xù)可調(diào)。N..A.0.5聚光鏡，帶可變孔徑光闌 | ||
