標準主機包含單色化Al Kα X射線源,可實現(xiàn)大面積XPS分析、小面積XPS分析和ISS分析以及XPS快速平行成像等功能
業(yè)界功率的600W單色化Al Kα X射線源,確保的分析靈敏度
平均半徑165mm的雙層能量分析器,確保高能量分辨XPS分析和高空間分辨的XPS成像
的浸入式磁透鏡技術(shù),大幅度提高分析靈敏度
的快速平行X光電子實時成像,可進行微區(qū)元素和化學態(tài)空間分布分析
的同軸超低能單電子源荷電中和器,解決絕緣體XPS分析
的二維陣列延遲線檢測器,同時記錄光電子的強度和發(fā)射位置