新型的DZZ-1000 半導(dǎo)體大視野工業(yè)顯微鏡是為工程領(lǐng)域精準(zhǔn)測(cè)量的迫切需要而進(jìn)行的專業(yè)創(chuàng)制,產(chǎn)品能提供更多的系統(tǒng)功能選擇與更高的操作性能,包括明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、偏振光、微分干涉相襯、工業(yè)熒光等顯微觀察模式,可配置手動(dòng)或自動(dòng)透反射工作平臺(tái)與精密光柵數(shù)顯影像檢測(cè)系統(tǒng),能夠滿足不同用戶對(duì)新型檢測(cè)能力的不斷追求。
無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)成像與柯拉照明落射系統(tǒng):
DZZ-1000 半導(dǎo)體大視野工業(yè)顯微鏡的品質(zhì)來(lái)源于核心的光學(xué)成像與照明系統(tǒng),產(chǎn)品采用優(yōu)良的無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差物鏡,大視野廣角目鏡,高亮度鹵素?zé)艋騆ED照明,可實(shí)現(xiàn)明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、偏振光、微分干涉相襯、工業(yè)熒光等顯微觀察功能,目視觀察可選擇正像觀察模式,系統(tǒng)安裝在精密線性導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)上,保存良好的運(yùn)動(dòng)與成像的穩(wěn)定性。
精密工作移動(dòng)平臺(tái)與控制系統(tǒng):
精準(zhǔn)測(cè)量的精度與操作性能很大程度依賴于工作平臺(tái)的制造精度與可控性。手動(dòng)工作平臺(tái)采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌與直線引導(dǎo)機(jī)構(gòu),具有快/慢速離合功能,電動(dòng)工作平臺(tái)采用精密滾珠絲桿與步進(jìn)電機(jī)傳動(dòng),在有效移動(dòng)范圍內(nèi)具有良好的運(yùn)動(dòng)與控制精度,可附加定位鎖緊、旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)等附件,滿足不同用戶需求。
測(cè)量數(shù)據(jù)顯示與處理系統(tǒng):
通過(guò)影像中的十字基準(zhǔn)線與工作臺(tái)光柵機(jī)構(gòu)的相對(duì)移動(dòng),在數(shù)顯屏上可觀察到影像的實(shí)際運(yùn)動(dòng)量,可以減少因影像系統(tǒng)誤差而出現(xiàn)測(cè)量偏差,滿足手動(dòng)精準(zhǔn)測(cè)量用戶的要求。
顯微影像與光柵數(shù)據(jù)集成于測(cè)量分析軟件時(shí),可通過(guò)對(duì)步進(jìn)電機(jī)的自動(dòng)控制實(shí)現(xiàn)顯微測(cè)量,滿足在線用戶的自動(dòng)檢測(cè)要求。
通過(guò)聚焦步進(jìn)電機(jī)與垂直運(yùn)動(dòng)光柵機(jī)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)聚焦、影像合成及深度測(cè)量等。
基座:
基座充分考慮了整機(jī)的抗震性能要求,采用整體花崗巖精密加工及消應(yīng)力處理,內(nèi)置LED透射照明系統(tǒng),控制面板前置,操作方便。
鏡體升降機(jī)構(gòu):
鏡體升降機(jī)構(gòu)采用精密滾珠絲桿與直線引導(dǎo)機(jī)構(gòu),設(shè)置定位鎖緊與變速緩沖裝置,在升降調(diào)節(jié)過(guò)程中手感舒適,并可防止快速下滑而撞擊物鏡,通過(guò)機(jī)構(gòu)的升降可觀察厚度為0-200mm的樣品。