| 產(chǎn)品特點(diǎn) : l 高速移動(dòng)和定位 l 130mm/260mm長(zhǎng)測(cè)量行程以及大測(cè)頭測(cè)量范圍 l 創(chuàng)新測(cè)針系統(tǒng)以及仿生學(xué)測(cè)臂設(shè)計(jì) l 磁性的測(cè)臂夾持裝置和測(cè)臂識(shí)別裝置 l 粗糙度和輪廓度二合一 l 基于友好服務(wù)理念的模塊化設(shè)計(jì) | |||||
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技術(shù)參數(shù): 水平軸的特征： ? 行程長(zhǎng)度(Lt)：0. mm to 260 mm ? 定位速度：0.02 mm/s 到 200 mm/s ? 測(cè)量速度：0.02 mm/s 到 10 mm/s; 粗糙度測(cè)量 推薦速度0.1 mm/s至0.5 mm/s ? X方向取樣間距：0.05 μm至30 μm,可調(diào)整 ? 每次測(cè)量最多測(cè)量點(diǎn)：5200000點(diǎn) ? 分辨率：0.8 nm ? X軸測(cè)量的不確定度：± (0.2+l/1000) μm; l 單位 mm 測(cè)頭系統(tǒng)特征： ? 測(cè)頭測(cè)量范圍：26 mm (200 mm測(cè)臂) ? 分辨率：0.8mm ? 測(cè)量力：0.5 mN to 30 mN, 可通過軟件設(shè)置 殘余誤差 Rz0, Rq0： ? vt = 0.1 mm / s時(shí)的殘余誤差：Rz0≤ 20 nm Rq0≤ 1 nm, typical 輪廓： ? 距離測(cè)量顯示誤差：± (1.0+l / 150) µm; l 單位 mm ? 半徑測(cè)量顯示誤差：(R ≤ 10 mm) ± 1 µm (10 mm < R ≤ 300 mm) ± 0.17 + (R/ 12) µm (R > 300 mm) ± (-18 + R / 7) µm |   | |||||
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