Z分解能/測(cè)定范圍 | 0.0075um/12mm 0.015um/24mm |
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Z檢出方式 | 半導(dǎo)體雷射軸標(biāo) |
觸針/測(cè)定力/針尖角度 | R2um/0.75mN/60° R25um/10mN/25° |
解析項(xiàng)目 | 形狀解析(要素、方位向量、統(tǒng)計(jì)量、MASTER比較、公差判定) 表面粗度(JIS、ISO、DIN、ANSI、BS) 表面波紋(JIS) |
測(cè)定范圍 | X:100mm |
直線度精度 | 0.4um/100mm |
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