凈化原理:該凈化機(jī)利用催化劑促使氬氣中的微量氧氣與碳反應(yīng)生成二氧化碳,從而除去氬氣中的雜質(zhì)氧氣,再利用分子篩吸附脫除氬氣中的H2O、CO2等雜質(zhì),即可得到高純氬氣供用氣設(shè)備使用。
對(duì)原料氬氣要求
一般瓶裝純氬,液氬、控制較好的管道氬氣。
雜質(zhì)要求: O2≤1000PPm, H2O≤1000PPm。
輸出純氣:純度:99.9998%
雜質(zhì)含量:O2≤0.5PPm,H2O≤1PPm(即露點(diǎn)≤-76℃),CO+CO2≤0.1PPm,S、P的氧化物≤0.1PPm。
塵埃粒子數(shù)(≥0.3μm)3-5個(gè)/升。 工作壓力:0.4-1.5MPa。 處理氣量:4NM3/h。
設(shè)備特點(diǎn)
1)催化劑活性高,凈化后的氣體純度高。
2)雙式結(jié)構(gòu),一組工作另一組再生備用,故能長(zhǎng)期連續(xù)供氣。
3)采用本機(jī)純氣吹掃的再生流程,再生不用氫,故不需專(zhuān)用機(jī)房,安全性好。
4)GYA-4C對(duì)再生具有自動(dòng)功能,操作更簡(jiǎn)單,并且不易出錯(cuò),性能也更穩(wěn)定可靠。
5)系統(tǒng)采用零泄露的波紋管閥門(mén)而不是故障率和泄漏量都較大的電磁閥,設(shè)備的可靠性更高。
6)設(shè)備自帶緩沖罐,輸出氣體純度、壓力更穩(wěn)定,更適合光譜儀使用。