商品詳情
高速掃描和高精度
在過(guò)去的25年里，ZEISS PRISMO已經(jīng)成為了測(cè)量實(shí)驗(yàn)室內(nèi)高速掃描和高精度測(cè)量的代名詞。ZEISS PRISMO是精密測(cè)量的參考標(biāo)準(zhǔn)，*遵循了ISO質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。這在非常注重精度且不能
接受準(zhǔn)確性存在偏差的領(lǐng)域。
ZEISS PRISMO可實(shí)現(xiàn)高度掃描和優(yōu)異的靈活性
加快測(cè)量速度ZEISS VAST Navigator技術(shù)
在保證測(cè)量精度的前提下，可自動(dòng)配置掃描可使用的高速度。
ZEISS CALYPSO VAST Probing技術(shù) (CVP)
采用CVP可以以足夠的精度顯著減少單點(diǎn)測(cè)量時(shí)間，讓測(cè)量時(shí)間減少25%。
ZEISS REACH技術(shù)
可旋轉(zhuǎn)測(cè)頭為ZEISS VAST gold增添了靈活性，可搭配ZEISS PRISMO使用。這種創(chuàng)新型探頭具有無(wú)極旋轉(zhuǎn)角度，非常適合執(zhí)行需要不同探測(cè)角度的測(cè)量任務(wù)。ZEISS REACH技術(shù)地將靈活性與ZEISS VAST gold的高精度、高效相結(jié)合。
ZEISS CALYPSO Pallet Optimizer選項(xiàng)
在批量測(cè)量中優(yōu)化探針更換策略，從傳統(tǒng)的“一次一個(gè)吸盤(pán)”方法，轉(zhuǎn)變?yōu)椤案鶕?jù)元素使用的探針進(jìn)行分組，對(duì)整個(gè)托盤(pán)進(jìn)行測(cè)量”，大大縮短了測(cè)量時(shí)間，從而提高了工作效率并節(jié)省了成本。
更精確的測(cè)量結(jié)果
使用了ZEISS PRISMO ultra的經(jīng)驗(yàn)、技術(shù)，將E0精度提高了約20%，該測(cè)量機(jī)集成了：ZERODUR®光柵尺 擴(kuò)展CAA校正功能
Top Performance
憑借優(yōu)化的形狀測(cè)量值，ZEISS PRISMO屬于同類(lèi)產(chǎn)品中性能的機(jī)器：
- 績(jī)效指標(biāo)：同等時(shí)間內(nèi)，MPE_THP比PRISMO提高31%
- 形狀精度指標(biāo)：MPE_RONt 提高30%
配備ZERODUR®光柵尺，實(shí)現(xiàn)高分 辨率
配備80nm分辨率的浮動(dòng)式ZERODUR® 光柵尺，消除了溫度梯度對(duì)精度的影響，無(wú)需額外的溫度傳感器。
確保高精度
ZEISS PRISMO verity符合德標(biāo)VDI/VDE 2627對(duì)“3類(lèi)”測(cè)量室的要求。只需19°至22°C溫度范圍的空調(diào)室，即可滿足所有測(cè)量需求。
優(yōu)異的精確性和復(fù)現(xiàn)性
- ZERODUR®光柵尺，分辨率為20nm
- 改良的空氣軸承校正功能
- 主動(dòng)氣浮阻尼系統(tǒng)
- 花崗巖平臺(tái)的熱彎曲補(bǔ)償
- 防止來(lái)自地面的熱輻射
確保質(zhì)量的形狀測(cè)量
RA-AB select 轉(zhuǎn)臺(tái)（選項(xiàng)）可在ZEISS PRISMO ultra上進(jìn)行形狀測(cè)量，確保環(huán)規(guī)的校準(zhǔn)值優(yōu)于0.2μm！這些值在與的德國(guó)機(jī)構(gòu)合作后到了確認(rèn)。遵循黃金法則，可確保形狀測(cè)量的公差為2-3μm。
蔡司采用個(gè)性化的安裝流程，確保讓 您滿意
為了履行這一承諾，蔡司在安裝完成后會(huì)進(jìn)行精度驗(yàn)證，由訓(xùn)練有素的服務(wù)工程師進(jìn)行驗(yàn)收測(cè)試。
確保獲得高精度的結(jié)果
通過(guò)改進(jìn)的CAA方法，例如校準(zhǔn)球的彎曲校正，完善的矢量校準(zhǔn)和用于RT測(cè)量的專(zhuān)用CAA校正，可以獲得*的精度，從而確保了形狀的精準(zhǔn)測(cè)量。
