熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)(Thermal Mass Flowmeters,縮寫為TMF),探頭是熱式氣體流量計(jì)的主要部件之一,是由速度傳感器(Tv)和溫度傳感器(Ta)組合而成,利用熱擴(kuò)散原理,采用恒功率(或恒溫差)控制方式.
流量計(jì)工作時(shí),速度傳感器(Tv)被加熱,溫度傳感器(Ta)測量周圍溫度,氣體流過時(shí)帶走熱量,不同的氣體質(zhì)量流量會帶走不同的熱量,從而取得氣體質(zhì)量流量與兩傳感器的溫差(或?qū)λ俣葌鞲衅鞯募訜峁β?的關(guān)系。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的應(yīng)用 |
火炬氣測量 垃圾填埋氣回收 燃?xì)庑袠I(yè)各類氣體測量 水處理行業(yè)加氣流量測量 冶煉行業(yè)風(fēng)機(jī)流量測量 半導(dǎo)體制造業(yè)加氣流量測量 水泥、玻璃制造行業(yè)加氣流量測量 大管徑低流速氣體流量測量的低成本應(yīng)用 |
特點(diǎn)和主要性能參數(shù) |
無須壓力溫度補(bǔ)償,直接測量氣體質(zhì)量流量,組成簡單,出現(xiàn)故障概率小 測量范圍: (0~60)m/s(標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為20℃,101.33KPa) 介質(zhì)溫度: 準(zhǔn)確度: ±1%的讀數(shù)±0.5%滿量程
溫度系數(shù): 0.05%/℃ 顯示接口 : 防爆認(rèn)證: EXdIICT4 |
結(jié)構(gòu)組成 |
采用熱擴(kuò)散原理,熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù),其典型傳感元件包括兩個(gè)熱電阻(鉑RTD ),一個(gè)是速度傳感器,一個(gè)是自動(dòng)補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)這兩個(gè)RTD 被置于介質(zhì)中時(shí),其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個(gè)恒定的溫差,另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計(jì)算的。氣體速率增加,傳感器傳遞給介質(zhì)的熱量增多,因此需要供給更多的功率,而電子單元加熱RTD 的功率與質(zhì)量流量成一定的對應(yīng)關(guān)系。 |