熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)以科氏力為基礎(chǔ)，在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅(qū)動(dòng)線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵(lì)電壓加到驅(qū)動(dòng)線圈上時(shí)，振動(dòng)管作往復(fù)周期振動(dòng)，工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動(dòng)管，就會(huì)在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng)，使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動(dòng)，安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號(hào)，這兩個(gè)信號(hào)差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計(jì)算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時(shí)，振管的主振頻率不同，據(jù)此解算出介質(zhì)密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測(cè)量介質(zhì)的溫度。
成都松盛測(cè)控技術(shù)有限公司推出的DC-M100數(shù)字通訊的中大流量規(guī)格熱式氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)，為滿足用戶對(duì)產(chǎn)品的要求，松盛測(cè)控的全系列熱式氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)均采用進(jìn)口產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)定，產(chǎn)品可與進(jìn)口熱式氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)直接對(duì)標(biāo)。廣泛應(yīng)用于SPUTTER磁控濺射臺(tái)、等離子刻蝕、石油化工、高校實(shí)驗(yàn)室、科研單位、航空航天、光伏行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、真空鍍膜行業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、PVD、CVD、MOCVD、氧化、離子注入、精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲(chǔ)存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過程控制器、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)DC-M100數(shù)字通訊的中大流量規(guī)格熱式氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品的正常工作壓力范圍可達(dá)：10MPa（100Bar），供電方式為+14V—﹢27V的寬頻供電，能滿足市面上絕大多數(shù)用戶的使用要求和使用習(xí)慣。產(chǎn)品精度優(yōu)于±1%F.S，響應(yīng)速度優(yōu)于2秒且流量值穩(wěn)定速度也是極快的。閥體過流材質(zhì)均選用品質(zhì)良好的316L不銹鋼。DB9針的電氣接頭，也方便了用戶在使用時(shí)的拆裝。具有響應(yīng)速度快、準(zhǔn)確度高、穩(wěn)定的流量控制、寬壓力范圍、優(yōu)良的耐腐蝕性和出色的線性度等優(yōu)點(diǎn)，能監(jiān)測(cè)和控制各種惰性氣體及部分具有腐蝕性的氣體。
