光開關(guān)是在一定范圍內(nèi)將光信號(hào)從一個(gè)光通道轉(zhuǎn)換成另一個(gè)光通道的器件，具有一個(gè)或多個(gè)可選擇的傳輸窗口，是實(shí)現(xiàn)光交叉連接、 光分插復(fù)用、網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控以及自愈保護(hù)等功能的核心器件。
其實(shí)現(xiàn)技術(shù)多種多樣，包括：機(jī)械光開關(guān)、熱光開關(guān)、聲光開關(guān)、電光開關(guān)、磁光開關(guān)、液晶光開關(guān)和MEMS光開關(guān)等。傳統(tǒng)的以電為核心的開關(guān)逐漸的不能滿足高速大容量光通信的需求， 慢慢的市場(chǎng)上出現(xiàn)了全光開關(guān)。其中MEMS光開關(guān)具有尺寸小、
什么是MEMS？MEMS （Micro-Electro-Mechanical System）是指將微型機(jī)械、微型執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路等集于一體的可批量制作的微型器件或系統(tǒng)，微機(jī)械結(jié)構(gòu)的制備工藝包括光刻、離子束刻蝕、化學(xué)腐蝕、晶片鍵合等，同時(shí)在機(jī)械結(jié)構(gòu)上制備了電極，以便通過電子技術(shù)進(jìn)行控制。
MEMS是一種微電機(jī)系統(tǒng)，在制備微機(jī)械結(jié)構(gòu)之后，需要以電子技術(shù)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。典型的驅(qū)動(dòng)機(jī)制包括靜電引力、電磁力、電致伸縮和熱電偶。在MEMS器件的所有驅(qū)動(dòng)機(jī)制中，靜電引力結(jié)構(gòu)因制備簡(jiǎn)單、易于控制和低功耗，得到泛的應(yīng)用。
MEMS光開關(guān)是在硅晶上刻出若干微小的鏡片，通過靜電力或電磁力的作用，使微鏡陣列產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)，從而改變輸入光的傳播方向以實(shí)現(xiàn)光路通斷的功能。MEMS光開關(guān)切換光波路由是通過外部控制信息以及相應(yīng)的高低電平控制內(nèi)部微鏡片抬升與否來完成的。
