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分光干涉式晶圓膜厚儀 SF-3

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面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2021-08-19
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量25
  • 人氣值470
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大塚電子(蘇州)有限公司主要銷(xiāo)售用于光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車(chē)前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關(guān)材料的光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查。

  以高速?高精度?高可靠性且有市場(chǎng)實(shí)際應(yīng)用的分光器MCPD系列為基礎(chǔ), 在中國(guó)的顯示器 市場(chǎng)上有著20年以上銷(xiāo)售實(shí)例, 為許多廠家在研究開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)部門(mén)所使用。并且在光源?照明 相關(guān)方面,對(duì)各個(gè)廠家的銷(xiāo)售量在逐步擴(kuò)大。

  在中國(guó)的蘇州有設(shè)立售后服務(wù)點(diǎn),為了能迅速且周到的為顧客服務(wù)而努力。

  我公司的母公司日本大塚電子集團(tuán),隸屬于大冢集團(tuán), 一直以來(lái)都謹(jǐn)守大冢集團(tuán) 的企業(yè)理念「Otsuka-people creating new products for better health world wide」(大冢 為人類(lèi)的健康創(chuàng)造革新的產(chǎn)品), 為社會(huì)作出貢獻(xiàn)。

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即時(shí)檢測(cè) WAFER基板于研磨制程中的膜厚 玻璃基板于減薄制程中的厚度變化 (強(qiáng)酸環(huán)境中) 產(chǎn)品特色 非接觸式、非破壞性光學(xué)式膜厚檢測(cè) 采用分光干涉法實(shí)現(xiàn)高度檢測(cè)再現(xiàn)性 可進(jìn)行高速...
分光干涉式晶圓膜厚儀 SF-3 產(chǎn)品詳情

即時(shí)檢測(cè)
WAFER基板于研磨制程中的膜厚
玻璃基板于減薄制程中的厚度變化
(強(qiáng)酸環(huán)境中)

 

產(chǎn)品特色

非接觸式、非破壞性光學(xué)式膜厚檢測(cè)
采用分光干涉法實(shí)現(xiàn)高度檢測(cè)再現(xiàn)性
可進(jìn)行高速的即時(shí)研磨檢測(cè)
可穿越保護(hù)膜、觀景窗等中間層的檢測(cè)
可對(duì)應(yīng)長(zhǎng)工作距離、且容易安裝于產(chǎn)線(xiàn)或者設(shè)備中
體積小、省空間、設(shè)備安裝簡(jiǎn)易
可對(duì)應(yīng)線(xiàn)上檢測(cè)的外部信號(hào)觸發(fā)需求
采用膜厚檢測(cè)的獨(dú)自解析演算法。(已取得)
可自動(dòng)進(jìn)行膜厚分布制圖(選配項(xiàng)目)

規(guī)格式樣

 

SF-3

膜厚測(cè)量范圍

0.1 μm ~ 1600 μm※1

膜厚精度

±0.1% 以下

重復(fù)精度

0.001% 以下

測(cè)量時(shí)間

10msec 以下

測(cè)量光源

半導(dǎo)體光源

測(cè)量口徑

Φ27μm※2

WD

3 mm ~ 200 mm

測(cè)量時(shí)間

10msec 以下

※1 隨光譜儀種類(lèi)不同,厚度測(cè)量范圍不同
※2 最小Φ6μm

關(guān)鍵詞:光譜儀
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