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納米線性定位器SLC-17系列是高精度線性納米定位器,具有不同的寬度和高度,非常適合微納定位系統(tǒng)使用,具有可靠的穩(wěn)定性和*的定位精度

納米線性定位器光學(xué)表面分析儀產(chǎn)品詳情

納米線性定位器SLC-17系列是高精度線性納米定位器,具有不同的寬度和高度,非常適合微納定位系統(tǒng)使用,具有可靠的穩(wěn)定性和*的定位精度。這些線性定位器還具有非磁性材料類型,能夠兼容10^-11mbar真空環(huán)境。
納米線性定位器SLC-1720系列具有緊湊的結(jié)構(gòu)和微小的外形尺寸,可以植入位置傳感器從而更好地勝任微納定位任務(wù).
納米線性定位器SLC-1720系列產(chǎn)品都能達(dá)到blocking force FB > 3.5 N, 力FN~30 N,Lift force FL>11.5N,速度達(dá)到20mm/s。

納米線性定位器SLC-17系列規(guī)格參數(shù)

型號(hào)	SLC-1720	SLC-1730	SLC-1740	SLC-1750	SLC-1760	SLC-1770	SLC-1780
分辨率	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm
負(fù)載	20N(2kg)	30N(3kg)	30N(3kg)	30N(3kg)	30N(3kg)	30N(3kg)	30N(3kg)
適合真空度	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar
行程范圍	12mm（+/-6mm)	12mm（+/-6mm)	26mm（+/-13mm)	31mm（+/-± 15.5mm)	41mm（+/-± 20.5mm)	46mm（+/-± 23mm)	51mm（+/-± 25.5mm)
步進(jìn)1	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm
掃描范圍	>1.5um	>1.5um	>1.5um	>1.5um	>1.5um	>1.5um	>1.5um
掃描分辨率	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm
速度	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s
頻率	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz
阻尼力Fb	>3.5N	>3.5N	>3.5N	>3.5N	>3.5N	>3.5N	>3.5N
正向力Fn	20N	30N	30N	30N	30N	30N	30N
升力Fl	>1.5N	>1.5N	>1.5N	>1.5N	>1.5N	>1.5N	>1.5N
尺寸	22 x 17 x 8.5 mm^3	30 x 17 x 8.5 mm^3	40 x 17 x 8.5 mm^3	50 x 17 x 8.5 mm^3	60 x 17 x 8.5 mm^3	70 x 17 x 8.5 mm^3	80 x 17 x 8.5 mm^3
重量	13g	20g	26g	32g	38g	45g	51g
pitch俯仰力矩Mp	0.6Nm	1.2Nm	3.0Nm	4.6Nm	7.6Nm	10.1Nm	12.5Nm
yaw偏航力矩My	0.6Nm	1.2Nm	3.0Nm	4.6Nm	7.6Nm	10.1Nm	12.5Nm
roll扭轉(zhuǎn)力矩Mr	0.4Nm	0.6Nm	1Nm	1.2Nm	1.4Nm	1.6Nm	1.9Nm
Closed-Loop-S 傳感器分辨率	1nm	1nm	1nm	1nm	1nm	1nm	1nm
Closed-Loop-S 重復(fù)精度2	+/-25nm	+/-30nm	+/-40nm	+/-50nm	+/-60nm	+/-70nm	+/-80nm
Closed-Loop-L 傳感器分辨率	4nm	4nm	4nm	4nm	4nm	4nm	4nm
Closed-Loop-L 閉環(huán)分辨率	+/-500nm(H)CU, 4nm MCS	+/-500nm(H)CU, 4nm MCS	+/-500nm(H)CU, 4nm MCS	+/-500nm(H)CU, 4nm MCS	+/-500nm(H)CU, 4nm MCS	+/-500nm(H)CU, 4nm MCS	+/-500nm(H)CU, 4nm MCS
Closed-Loop-L 重復(fù)精度	+/-1um(H)CU, +/-50nm MCS	+/-1um(H)CU, +/-60nm MCS	+/-1um(H)CU, +/-80nm MCS	+/-1um(H)CU, +/-100nm MCS	+/-1um(H)CU, +/-120nm MCS	+/-1um(H)CU, +/-140nm MCS	+/-1um(H)CU, +/-160nm MCS

說明：
步進(jìn)1：低振動(dòng)模式時(shí)的掃描模式下步進(jìn)為1nm,其它模式為50-1500nm
Closed-Loop-S重復(fù)精度2：是全行程的重復(fù)精度，行程范圍小時(shí)重復(fù)精度會(huì)更好
材料和真空可選項(xiàng)：
鋼鐵和鈦金屬材料底座可選
非磁性材料可選
液氮溫度CR可選
黑色氧化鋁表面處理可選
兼容真空（10^-6mbar)和高真空環(huán)境(10^-11mbar)處理工藝可選

關(guān)鍵詞：位置傳感器傳感器

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產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
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