產(chǎn)品介紹
測量結(jié)果的準(zhǔn)確程度對科研工作者來說是至關(guān)重要的。Park推出了準(zhǔn)確的NX-10型原子力顯微鏡。該儀器具備高速的伺服響應(yīng)能力，高掃描器線性度，低閉環(huán)檢測器噪聲水平，和低系統(tǒng)熱漂移量。
準(zhǔn)確成像，無交叉耦合誤差
XYZ軸線性度，樣品和探針分別由獨(dú)立的閉環(huán)掃描器控制
平面偏移度，全掃描范圍水平線性誤差小于1nm
垂直掃描器全程伸縮線性度由于0.015%
優(yōu)化了水平掃描器的ring-ring現(xiàn)象，精準(zhǔn)的正向sine-scan算法
準(zhǔn)確掃描，真正的非接觸模式
Z軸伺服帶寬超過9kHz，響應(yīng)速度大于62mm/s
非接觸模式下的掃描速度
低探針磨損，保證了長時(shí)間高質(zhì)量掃描
低樣品損傷
準(zhǔn)確測量，真正的樣品形貌
低噪音檢測器
正反測量偏離量，小于0.15%
優(yōu)化的散熱部件，降低了系統(tǒng)熱偏移
功能強(qiáng)大的隔音罩，艙體內(nèi)部主動(dòng)控溫
提高用戶工作效率
開放式樣品空間，樣品及探針更換方便
預(yù)對準(zhǔn)探針安裝與同軸光路設(shè)計(jì)方便激光調(diào)整
十秒進(jìn)針功能，探針高速自動(dòng)完成進(jìn)針
24為數(shù)字電控箱，3路內(nèi)置鎖相放大器，具備Q-Control和彈性系數(shù)校正功能
