微型真空平移臺(tái)采用低剖面設(shè)計(jì)提高了穩(wěn)定性和精度,盒式設(shè)計(jì)和彈簧預(yù)加載提高了平移臺(tái)剛性降低了柔性,使用不銹鋼制造增加了穩(wěn)定性。
微型真空平移臺(tái)方便快速安裝到其它光學(xué)機(jī)械上或者搭建成XY平移臺(tái)或XYZ平移臺(tái)系統(tǒng),也可以倒置使用.
圖1:微型真空平移臺(tái)實(shí)物圖
微型真空平移臺(tái)特點(diǎn)
超級(jí)緊湊
固態(tài)盒式設(shè)計(jì)
可使用的安裝面大
移動(dòng)范圍是6mm
方便裝配成X-Y二維平移臺(tái)
不銹鋼制造,可以用于真空環(huán)境
圖2:微型真空平移臺(tái)配備不同驅(qū)動(dòng)螺釘
圖3:微型真空平移臺(tái)安裝應(yīng)用圖-采用直角安裝板2AB67-6
微型真空平移臺(tái)規(guī)格參數(shù)
移動(dòng)范圍 6mm
靈敏度 1µM
讀數(shù)精度 10µm
角偏差 <150µRad
跟蹤精度 2µM
負(fù)載能力:
水平 45kg
垂直 3kg
重量 0.1kg
負(fù)載裝配
X-Y 直接裝配
Z軸 使用直角安裝板2AB67-6