真空電動(dòng)平移臺(tái)是為真空環(huán)境應(yīng)用設(shè)計(jì)的電動(dòng)真空平移臺(tái)和真空電動(dòng)平臺(tái),采用步進(jìn)電機(jī)發(fā)動(dòng)減速齒輪和絲杠而產(chǎn)生運(yùn)動(dòng),具有超高精度和穩(wěn)定性。
真空電動(dòng)平移臺(tái)每一毫米有1000個(gè)微步,步進(jìn)電機(jī)分辨率高達(dá)200個(gè)步進(jìn),步進(jìn)電機(jī)采用可編程控制器精密驅(qū)動(dòng),可采用1,1/2,1/4,1/8 步進(jìn)模式驅(qū)動(dòng)電機(jī)。
真空電動(dòng)平移臺(tái)使用連接適配板2CP167V-100 和角支架2AB167V-100，平移臺(tái)8MT167V-100可以組建XYZ三維真空電動(dòng)平移臺(tái)系統(tǒng)。
真空電動(dòng)平移臺(tái)可單獨(dú)訂購(gòu)高度真空兼容Sub-D接口連接器，9或15針連接器。連接器是玻璃制成，里面填充的是聚合物，外殼是不銹鋼，適用于高度真空度10^-6毫巴和溫度高達(dá)110°C的環(huán)境。
這款真空平移臺(tái)具有對(duì)應(yīng)的非真空版本的同樣電動(dòng)平移臺(tái)。

真空電動(dòng)平移臺(tái)采用適合真空環(huán)境的接口
Sub-D連接器的規(guī)格：
真空：10^-6毫巴
主體材料：DEP
溫度范圍：-55°C至110°C
針材質(zhì)：鍍金銅合金

真空電動(dòng)平移臺(tái)規(guī)格
行程距離 100 mm
分辨率
整步 1µm
1/8步 0.125µm
絲杠螺距 0.5 mm
減速比 2.5/1
速度 2mm/s
載重能力
水平 6kg
垂直 1.5kg
電機(jī) VSS42
真空兼容電纜 2米長(zhǎng)
連接器 HDB15(M)
限位開關(guān) 2個(gè)機(jī)械開關(guān)
重量 1.6kg