高精度真空位移臺(tái)是專業(yè)為真空環(huán)境要求生產(chǎn)的真空電動(dòng)定位臺(tái)和電動(dòng)真空位移臺(tái),采用適合真空度高達(dá)10^-6Torr的真空直流電機(jī),所有的機(jī)械部件都使用高度真空潤(rùn)滑脂潤(rùn)滑,充分做到真空應(yīng)用設(shè)計(jì)。
高精度真空位移臺(tái)直流電機(jī)提供更平滑的運(yùn)動(dòng)和閉環(huán)操作,電機(jī)減速齒輪數(shù)量多，提供高分辨率，但相應(yīng)地低速度。是要求高精度又對(duì)速度限制不敏感應(yīng)用d電動(dòng)位移臺(tái)。
真空電動(dòng)位移臺(tái)鋁零件沒有進(jìn)行過陽(yáng)極氧化處理。在裝運(yùn)發(fā)送之前，真空電動(dòng)位移臺(tái)會(huì)在真空室中進(jìn)行清洗和包裝，購(gòu)買后可立即置入真空室中，不會(huì)破壞真空室。清潔和包裝費(fèi)要另外結(jié)算，不包括在工作臺(tái)價(jià)格內(nèi).
高精度真空位移臺(tái)規(guī)格
高精度真空位移臺(tái)配備有高度真空兼容的Sub-D接口連接器,9或15針連接器。連接器是玻璃制成,里面填充的是聚合物,外殼是不銹鋼,適用于高度真空10^-6毫巴和溫度高達(dá)110°C的環(huán)境。
高精度真空位移臺(tái)高度真空Sub-D連接器規(guī)格：
真空：10^-6毫巴
主體材料：DEP
溫度范圍：-55°C至110°C
針材質(zhì)：鍍金銅合金
其他尺寸大小的連接器和真空密封裝置也可提供
高精度真空位移臺(tái)直流電機(jī)提供更平滑的運(yùn)動(dòng)和閉環(huán)操作,電機(jī)減速齒輪數(shù)量多，提供高分辨率，但相應(yīng)地低速度。是要求高精度又對(duì)速度限制不敏感應(yīng)用d電動(dòng)位移臺(tái)。
真空電動(dòng)位移臺(tái)鋁零件沒有進(jìn)行過陽(yáng)極氧化處理。在裝運(yùn)發(fā)送之前，真空電動(dòng)位移臺(tái)會(huì)在真空室中進(jìn)行清洗和包裝，購(gòu)買后可立即置入真空室中，不會(huì)破壞真空室。清潔和包裝費(fèi)要另外結(jié)算，不包括在工作臺(tái)價(jià)格內(nèi).
高精度真空位移臺(tái)規(guī)格
| 型號(hào) | 8MT173V-10DCE | 8MT173V-20DCE | 8MT173V-25DCE | 8MT173V-30DCE |
| 行程范圍 | 10mm | 20mm | 25mm | 30mm |
| 螺距 | 0.25mm | |||
| 分辨率 | 0.1µm | |||
| 最小步進(jìn)增量 | 0.028µm | |||
| 雙相重復(fù)精度 | 0.4µm | |||
| 速度* | 0.16mm/s | |||
| 負(fù)載能力 | ||||
| 水平負(fù)載 | 5kg | |||
| 垂直負(fù)載 | 1kg | |||
| 真空電纜 | 標(biāo)配2米 | |||
| 電機(jī)連接接口 | HDB15(M) | |||
| 電機(jī)類型 | DCE1841 | |||
| 重量 | 0.43kg | 0.46kg | 0.47kg | 0.48kg |
| 多軸位移臺(tái)系統(tǒng)搭建配件: | ||||
| X-Y軸搭建 | 2CP173V-20 | |||
| Z軸搭建 | 2AB173V-20 | |||
| 控制器 | 8SMC5-USB | |||
高精度真空位移臺(tái)高度真空Sub-D連接器規(guī)格：
真空：10^-6毫巴
主體材料：DEP
溫度范圍：-55°C至110°C
針材質(zhì)：鍍金銅合金
其他尺寸大小的連接器和真空密封裝置也可提供
