這款二維XY定位平臺METROSTAGE是美國Nutec高精度電動XY定位臺,采用了XY雙軸定位臺設計,可以設計成實心表面,也可設計成開放的中空框架結構,同時滿足超凈工作間和真空環(huán)境的使用要求。
這款二維XY定位平臺METROSTAGE采用特殊的3層結構設計，保證了最小的形變和的精度，剛度和穩(wěn)定性也得到了，從而保證了二維XY定位平臺的支撐和完整性. 無空回（backlash-free)的預裝引導系統(tǒng)保證了二維XY定位平臺實現(xiàn)平穩(wěn),低摩擦,高精度地定位,*長期使用。
二維XY定位平臺應用
具有廣泛的應用,可用于計量和制造領域,半導體封裝,測試和制造領域,視頻檢測,微細加工,激光加工,高速加工,激光和檢測等領域。也有許多用戶把這套XY定位平臺用于顯微鏡上,替代精度不足的傳統(tǒng)顯微鏡載物臺。
二維XY定位平臺主要特色
超薄設計,3層結構；
直線伺服或滾軸絲桿驅動系統(tǒng)
集成的非接觸式位置編碼器
分辨率高達1納米
內部預加載的輥導向系統(tǒng)
可集成伺服控制功能
二維XY定位平臺配置
行程范圍100x100mm到300x300mm
位移臺高度可達60mm
開放框架或固體頂部
適合超凈間使用
真空兼容，適合真空環(huán)境使用
非磁性
二維XY定位平臺中空版本
二維XY定位平臺參數(shù)：
行程范圍：100x100mm, 150x150mm, 200x200mm, 300x300mm
驅動系統(tǒng)；步進電機,伺服電機，直線伺服電機，陶瓷伺服電機
加速度：由負載決定
速度：直線電機驅動：500mm/s,滾珠螺桿：250mm/s，滾柱絲杠驅動:40mm/s
負載：15kg
TTL分辨率：50nm
重復精度：≤1µm
構造：鋁合金主體，灰色硬質涂層
這款二維XY定位平臺METROSTAGE采用特殊的3層結構設計，保證了最小的形變和的精度，剛度和穩(wěn)定性也得到了，從而保證了二維XY定位平臺的支撐和完整性. 無空回（backlash-free)的預裝引導系統(tǒng)保證了二維XY定位平臺實現(xiàn)平穩(wěn),低摩擦,高精度地定位,*長期使用。
二維XY定位平臺應用
具有廣泛的應用,可用于計量和制造領域,半導體封裝,測試和制造領域,視頻檢測,微細加工,激光加工,高速加工,激光和檢測等領域。也有許多用戶把這套XY定位平臺用于顯微鏡上,替代精度不足的傳統(tǒng)顯微鏡載物臺。
二維XY定位平臺主要特色
超薄設計,3層結構；
直線伺服或滾軸絲桿驅動系統(tǒng)
集成的非接觸式位置編碼器
分辨率高達1納米
內部預加載的輥導向系統(tǒng)
可集成伺服控制功能
二維XY定位平臺配置
行程范圍100x100mm到300x300mm
位移臺高度可達60mm
開放框架或固體頂部
適合超凈間使用
真空兼容，適合真空環(huán)境使用
非磁性
二維XY定位平臺中空版本
二維XY定位平臺參數(shù)：
行程范圍：100x100mm, 150x150mm, 200x200mm, 300x300mm
驅動系統(tǒng)；步進電機,伺服電機，直線伺服電機，陶瓷伺服電機
加速度：由負載決定
速度：直線電機驅動：500mm/s,滾珠螺桿：250mm/s，滾柱絲杠驅動:40mm/s
負載：15kg
TTL分辨率：50nm
重復精度：≤1µm
構造：鋁合金主體，灰色硬質涂層
| 型號 | MS-100 ST | MS150-ST | MS200-ST | MS300-ST |
|---|---|---|---|---|
| 行程 (mm) | 100x100 | 150x150 | 200x200 | 300x300 |
| 控制規(guī)格參數(shù) | ||||
| 精度 | ||||
| 標準精度SP | ± 7.5µm | ± 10µm | ± 15µm | ± 20µm |
| 高精度版本精度HP | ± 5µm | ± 7.5µm | ± 10µm | n/a |
| *精度版本精度XHP | ± 3µm | ± 4µm | ± 6µm | n/a |
| 直線度/平整度 | ||||
| 標準品直線度/平整度 | ± 8 µm | ± 10 µm | ± 12 µm | ± 20 µm |
| 高精度版直線度/平整度 | ± 3µm | ± 4 µm | ± 6 µm | n/a |
| *精度版直線度/平整度 | ± 3µm | ± 4 µm | ± 5 µm | n/a |
| Yaw/Pitch/Roll | ||||
| 標準版Yaw/Pitch/Roll | 20 arc-sec | 20 arc-sec | 20 arc-sec | 20 arc-sec |
| 高精度版Yaw/Pitch/Roll | 10 arc-sec | 10 arc-sec | 10 arc-sec | n/a |
| 二維XY定位平臺規(guī)格 | ||||
| 標準版正交性 | 10 arc-sec | 10 arc-sec | 10 arc-sec | 10 arc-sec |
| 高精度版正交性 | 5 arc-sec | 5 arc-sec | 5 arc-sec | n/a |
| *精度版正交性XHP | 3 arc-sec | 3 arc-sec | 3 arc-sec | n/a |
