3D激光共聚焦形貌顯微鏡是一種高速共焦激光掃描顯微鏡（CLSM），用于精確可靠的三維測量，從一系列光學剖切圖像中提供目標物體的三維描述，通過該算法，橫截面圖像被直接轉(zhuǎn)換為三維輪廓數(shù)據(jù)。這種*的原始截面圖像，直觀地解釋，使表面輪廓數(shù)據(jù)優(yōu)于其他光學技術(shù)。
3D激光共聚焦形貌顯微鏡特點
-高分辨率無損光學三維測量
-實時共焦成像
-各種光學變焦
-同時亮場和共焦成像
-具有精細自動聚焦的自動增益搜索
-傾斜補償
-簡易分析模式
-精密可靠的高速測高
-通過半透明基板檢查特征
-無樣品制備
-寬范圍檢測的圖像拼接
3D激光共聚焦形貌顯微鏡應用
-半導體：IC圖形，凸點高度，線圈高度，缺陷檢查，CMP工藝
-FPD產(chǎn)品：觸摸屏檢查，ITO圖案，LCD柱墊高度
-MEMS器件：結(jié)構(gòu)的三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形
-玻璃表面：薄膜太陽能電池，太陽能電池紋理，激光圖案
-材料研究：模具表面檢查，粗糙度，裂紋分析
3D激光共聚焦形貌顯微鏡測量表面粗糙度
3D激光共聚焦形貌顯微鏡規(guī)格參數(shù)
3D激光共聚焦形貌顯微鏡特點
-高分辨率無損光學三維測量
-實時共焦成像
-各種光學變焦
-同時亮場和共焦成像
-具有精細自動聚焦的自動增益搜索
-傾斜補償
-簡易分析模式
-精密可靠的高速測高
-通過半透明基板檢查特征
-無樣品制備
-寬范圍檢測的圖像拼接
3D激光共聚焦形貌顯微鏡應用
-半導體：IC圖形，凸點高度，線圈高度，缺陷檢查，CMP工藝
-FPD產(chǎn)品：觸摸屏檢查，ITO圖案，LCD柱墊高度
-MEMS器件：結(jié)構(gòu)的三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形
-玻璃表面：薄膜太陽能電池，太陽能電池紋理，激光圖案
-材料研究：模具表面檢查，粗糙度，裂紋分析
3D激光共聚焦形貌顯微鏡測量表面粗糙度
3D激光共聚焦形貌顯微鏡規(guī)格參數(shù)
| 型號 | 顯微鏡 | NS-3600 | Remark | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 物鏡放大倍數(shù) | 10× | 20× | 50× | 100× | ||
| 觀察/ 測量范圍 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 | |
| 豎直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | ||
| 工作距離: mm | 17.5 | 4.5 | 1.0 | 1.0 | ||
| 數(shù)值孔徑 (N.A.) | 0.30 | 0.45 | 1.0 | 1.0 | ||
| 觀察/測量的光學系統(tǒng) | 小孔聚焦光學系統(tǒng) | |||||
| Height Measurement | Measuring scan range | 10 mm | ||||
| Display resolution | 0.001 µm | |||||
| Repeatability σ | 0.02 µm | Note 1 | ||||
| Width measurement | Display resolution | 0.001 µm | ||||
| Repeatability 3σ | 0.03 µm | Note 2 | ||||
| Frame memory | Pixel count | 1024x1024, 1024×768, 1024×384, 1024×192, 1024×96 | ||||
| For confocal image | 12 bit | |||||
| For color image | 8-bit for RGB each | |||||
| For height measurement | 16 bit | |||||
| Frame rate | Surface scan | 20 Hz to 160 Hz | ||||
| Line scan | ~8 kHz | |||||
| Laser beam light source for confocal measurement | Wavelength | Red laser, 638 nm | ||||
| Output | ~2 mW | |||||
| Laser Class | Class 3b | |||||
| Laser light-receiving element | PMT (photomultiplier tube) | |||||
| Light source for optical observation | Lamp | LED | ||||
| Color camera for Optical observation | Imaging element | Color CCD image sensor | ||||
| Recording resolution | 1296x966 | |||||
| Data processing unit | Dedicated PC | |||||
| Power supply | Power-supply voltage | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | ||||
| Current consumption | 500 VA max. | |||||
| Weight | Microscope | Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~12.5 kg) | ||||
| Controller | ~8 kg | |||||
| Vibration isolating system | Pneumatic isolator | |||||
- Note 1 :
100 times measurement of standard sample (1µm step height) with 100× / 0.9 objective.
- Note 2 :
100 times measurement of standard sample (5µm pitch) with 100× / 0.9 objective.
