安捷倫 Agilent 7500 ICP-MS電感耦合等離子體質(zhì)譜是一種新型的無機元素和同位素分析技術(shù),可快速同時檢測周期表上幾乎所有元素。ICP-MS技術(shù)在分析能力上,超過傳統(tǒng)的無機分析技術(shù)如電感耦合等離子體光譜技術(shù)(ICPAES)、石墨爐原子吸收(GFAAS)和汞冷原子吸收技術(shù)(CVAAS)的總和,被稱為當代分析技術(shù)最激動人心的發(fā)展。
Agilent 7500 ICP-MS技術(shù)的應用領域包括:
環(huán)境樣品分析,包括自來水、地表水、地下水、海水以及各種土壤、廢棄物等的分析半導體材料分析
玻璃、陶瓷和礦冶等樣品分析
地質(zhì)學研究
生物食品及醫(yī)藥臨床研究
核材料分析
石油化工樣品分析
法醫(yī)應用與研究
最近,與分離技術(shù)聯(lián)用進行環(huán)境毒理、生命科學等領域的元素價態(tài)、形態(tài)分析成為ICP-MS技術(shù)應用的一個焦點。
安捷倫Agilent 7500 ICP-MS分析特性:
可快速同時檢測周期表上幾乎所有元素的檢出限(低至ppq級)
分析效益/成本比
最寬的線性動態(tài)范圍—可直接檢測從ppq到數(shù)百ppm濃度
譜線、干擾最小,準確度和精密度好
需要樣品量很低(ul至ml),分析速度很快(1~3分鐘/樣品)
檢測模式靈活多樣
半導體工業(yè)常用材料中超痕量污染物分析
固體:Si;GaAa單晶切片;石英、碳化硅等爐材料;高純金屬電極等液體:超純水;HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等
氣體:SiH4;TE0S;NF3;N2等
Agilent ICP-MS可直接分析有機樣品。
Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等離子體技術(shù)已被用于測定一系列有機樣品的ppt級痕量污染元素。
對其中一些樣品,其他方法無法得到滿意的結(jié)果,高功率屏蔽矩冷等離子體技術(shù)是的分析方法。
強堿性清洗劑——四甲基氫氧化氨(TMAH)等常用有機溶劑——甲苯、二甲苯、IPA等
高基體樣品——光刻膠、液晶、BPSG、PSG等揮發(fā)性*的清洗劑——丙酮、甲醇等
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