勻膠處理機(jī) TX400-5
整合多項(xiàng)功能:
1 自動(dòng)勻膠
2 顯影
3 清洗
4 刻蝕
5 去膠
6 水烘烤
7 摻雜
產(chǎn)品簡介:主要用于液體,膠體在材料表面薄膜的形成,適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工藝??稍诳蒲?,教育,生產(chǎn)中應(yīng)用。
主要特點(diǎn)
TX400-5高精度自動(dòng)滴膠勻膠機(jī)旋涂儀 :
32位工業(yè)計(jì)算機(jī)芯片組控制。
7英寸觸摸屏顯示,設(shè)定,控制。
TX400-5高精度自動(dòng)滴膠勻膠機(jī)旋涂儀
可設(shè)定存儲(chǔ)25個(gè)不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程。
每個(gè)涂敷工藝過程可以設(shè)置100步不同的速度狀態(tài);
運(yùn)行過程可以暫停,重復(fù)啟動(dòng)。
循環(huán)轉(zhuǎn)移:次數(shù):2的16次方= 65536次。
(用途:工藝過程重復(fù)部分的設(shè)定)
TX400-5高精度自動(dòng)滴膠勻膠機(jī)旋涂儀
液晶顯示屏可以實(shí)時(shí)顯示
直觀顯示轉(zhuǎn)速時(shí)間曲線。
第N個(gè)涂敷工藝過程
所處工作段
真空吸片狀態(tài)。
設(shè)置時(shí)間;及實(shí)時(shí)運(yùn)行時(shí)間。
設(shè)置速度;及實(shí)時(shí)速度狀態(tài)。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
人機(jī)交互式對(duì)話,簡潔,明了。
TX200-5高精度自動(dòng)滴膠勻膠機(jī)旋涂儀 :
安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實(shí)時(shí)檢測(cè)系統(tǒng)真空度,
必須在安全的真空度下,電機(jī)啟動(dòng),運(yùn)行。保障可靠吸片,不飛片。
TX400-5高精度自動(dòng)滴膠勻膠機(jī)旋涂儀 :
轉(zhuǎn)速精度更高:
300 - 10000 轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:+ - 0.1 %
轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
*TX400-5高精度勻膠機(jī)旋涂儀 NPP材質(zhì)工作腔,外表面潔凈光亮。美觀,方便清洗。
TX400-5高精度勻膠機(jī)旋涂儀
能準(zhǔn)確滴定5種膠體或氣體。(包括膠體,顯影液,定型液,氮?dú)?
工作腔直徑400mm。可以旋涂基片直徑380mm圓片 或 250mm*250mm方片
(圖片)??捎帽潦?。
NPP的化學(xué)穩(wěn)定性優(yōu)異,對(duì)大多數(shù)酸、堿、鹽、氧化劑都顯 惰 性。例如在100℃的濃磷酸、鹽酸、40%硫酸及其它們的鹽類溶液中都是穩(wěn)定的。
TX400-5高精度自動(dòng)滴膠勻膠機(jī)旋涂儀 :技術(shù)參數(shù):
單相交流電源:220V.50Hz
電機(jī)功率:150W
旋轉(zhuǎn)真空吸盤直徑:4英寸(102mm,標(biāo)準(zhǔn)配置)
可選擇配置: 基片直徑10—480mm可接受訂貨。
轉(zhuǎn)數(shù):300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。
整個(gè)工藝過程是一條連續(xù)的曲線??杉訙p速度??芍貜?fù)跳轉(zhuǎn)工藝過程。
可準(zhǔn)確滴定5種膠體,液體或是氣體。
可設(shè)定時(shí)間:1---9999秒。
可選配件
1、85升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盤
3、滴膠筒,滴膠針頭。
62mm 吸盤