AX10FD微小氣體流量計(jì) AX10FD低耐壓型質(zhì)量流量計(jì) AX10FD氣體流量控制器

AX10FD采用無熱漂移，無響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測量原理，可以同時(shí)顯示和輸出：瞬時(shí)流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。當(dāng)需要控制功能時(shí)，還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID調(diào)節(jié)功能。
    顯示器、鍵盤、通訊和多變量輸出均是標(biāo)準(zhǔn)配置，具有手操器/顯示儀/積算儀的全部功能。通過面板操作，可以完成以下內(nèi)容：氣體選擇、單位選擇、量程設(shè)定，報(bào)警點(diǎn)設(shè)定，閥門狀態(tài)、自動校準(zhǔn)等。
    與熱式流量計(jì)不同，當(dāng)使用氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)時(shí)，AX10FD沒有附加的“比熱容”誤差。所以，即使測量氣體與出廠時(shí)的標(biāo)定氣體不同，也不會影響測量精度。

產(chǎn)品應(yīng)用

產(chǎn)品廣泛用于真空,鍍膜,太陽能,半導(dǎo)體,石油石化,煤炭冶金,制氣配氣,***及各種分析儀器等。

產(chǎn)品特點(diǎn)

● 普通低壓型，適于1Mpa以下非腐蝕的清潔氣體
● 無熱漂移，可以忽略的溫移和時(shí)漂，長期穩(wěn)定性0.1%F.S/年
● 準(zhǔn)確度0.8%，量程可在100：1范圍內(nèi)按鍵設(shè)定，無需標(biāo)定
● 瞬時(shí)和累計(jì)流量、壓力、溫度可同時(shí)顯示和輸出
● 無需預(yù)熱，測量時(shí)無響應(yīng)滯后
● 內(nèi)置31種氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)，無比熱容附加誤差，不影響精度
● 自動累計(jì)，分段累計(jì)功能

技術(shù)指標(biāo) AX10FD質(zhì)量流量控制器 AX10FD質(zhì)量流量計(jì)
量程范圍 小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM
控制范圍 控制器50：1 流量計(jì)100：1
 
準(zhǔn) 確 度 流量：±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程
 
可選±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程
 
壓力：0.5%F.S 溫度：±1℃ 
線 性 ±0.5%F.S
重復(fù)精度 ±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間 100ms 10ms
數(shù) 字 量 RS232/485，MODBUS協(xié)議
 
模 擬 量 0～5V、4～20mA、1～5V
 
供電 12V/24V/±15V可選
 
工作溫度 0～50℃
工作壓力 工作壓差：0.03～0.5MPa  工作壓降：<0.01Mpa
耐壓 1MPa
 
電氣連接 DB15孔
 
漏 率 1×10-9SccsHe
 
溫度系數(shù) ±0.015%F.S/℃
 
底座材質(zhì) 316L
 
密封材料 氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠
 
接 頭 VCR1/4;swagelokφ6