一、設(shè)備名稱、型號(hào): 12寸晶圓自動(dòng)管式爐
2.1FAB上下料
2個(gè)上下料口(并列)
FOUP ID 識(shí)別
Wafer位置識(shí)別
操作啟動(dòng)開(kāi)關(guān)
2.2晶元輸送
2.2.1FBA開(kāi)蓋
FOUP固定,解鎖,取蓋
2.2.2晶元輸送機(jī)械手
雙臂式傳輸
高純度AL2O3托盤(pán)
按規(guī)劃路徑將晶元從FOUP傳送至爐體裝 料腔中
2.2.3爐體開(kāi)蓋
?將爐體裝料腔腔門(mén)打開(kāi)
2.3.1加熱腔
外部采用不銹鋼外套,中部采用FEC加熱器和相應(yīng)保溫材料,內(nèi)部為石英爐管
多層環(huán)形加熱器,有效使用高度 > 1000mm
底部通入工藝氣氛,O2和N2可編程選擇
煙氣冷凝回收
底部具有自保護(hù)蓋體功能
高溫焦油裂解功能
降溫方式:鼓風(fēng)機(jī)將空氣吹入爐管與加熱器之間的夾腔,強(qiáng)制風(fēng)冷降溫。
多路多層環(huán)形進(jìn)氣,保證爐膛的冷卻可控
2.3.2裝料腔
石英支架,處理量為100PCS 12inch晶圓
升降采用移動(dòng)式滑臺(tái)機(jī)構(gòu)(無(wú)桿電缸),
2.4控制柜
2.4.1氣源箱
?對(duì)于空氣,O2,N2進(jìn)行邏輯控制
?調(diào)節(jié)各路進(jìn)氣的流量
2.4.2電源箱
?動(dòng)力配電
?儀器儀表放置
?氧含量分析系統(tǒng)可選
2.5控制系統(tǒng)
?人機(jī)界面采用觸摸屏方式
?核心控制器采用嵌入式控制器
?超溫保護(hù)為獨(dú)立檢測(cè)器件
?具有氧含量檢測(cè)功能
?運(yùn)動(dòng)控制為伺服/步進(jìn)控制單元
?傳輸為專業(yè)晶元傳輸機(jī)器人
?軟件具有功能:溫度控制,氣氛控制,工藝編輯,數(shù)據(jù)記錄,圖表顯示.
3.1處理產(chǎn)品:12inch 晶圓
3.2處理量:90PCS/管,共180PCS
3.3加熱器:圓形FEC加熱板
3.4加熱區(qū)域:>1000mm
3.5外形尺寸:
本體:2500×3500×3500(W×D×H)
控制柜:800×600×2200(W×D×H)
3.6上料口:2
3.7機(jī)械手:1
四、技術(shù)指標(biāo)
4.1長(zhǎng)期使用溫度: 350℃,溫度上限:750℃;
4.2升溫速率:>30℃/min
4.3降溫速率:>5℃/min
4.4加熱功率:36kW(單爐);
4.5加熱溫區(qū): 3個(gè);
4.6爐溫均勻性: ±7℃(350℃恒溫);
4.7程序控制:P.I.D控制;
4.8溫度控制方式: SSR
4.9控溫?zé)崤? K分度;
4.10氣氛: N2/O2;
4.11爐膛材料:石英玻璃;
4.12保溫材料:陶瓷纖維;
4.13氣氛控制:多路流量計(jì)調(diào)節(jié)進(jìn)氣,流量計(jì)量程為24~240L/min;
4.14排氣系統(tǒng):在頂部設(shè)置排氣煙囪,用于廢氣排放,回收;
4.15設(shè)備重量:約2t;
*技術(shù)細(xì)節(jié)變動(dòng)之處,恕不另行通知,具體設(shè)備參數(shù)以咨詢結(jié)果為準(zhǔn)。
真萍科技作為專業(yè)的熱處理設(shè)備制造廠商,可根據(jù)客戶工藝需求定制您需要的滿意產(chǎn)品,有需求的客戶。