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自動(dòng)管式爐 電爐

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2023-06-04
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限8
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量111
  • 人氣值1042
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合肥真萍電子科技有限公司是專業(yè)的從事環(huán)境與可靠性試驗(yàn)設(shè)備及實(shí)驗(yàn) 室儀器,防潮防氧化專業(yè)設(shè)備,烘烤制程設(shè)備等產(chǎn)品專業(yè)供應(yīng)商,由一批多年從事環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、防潮防氧化設(shè)備行業(yè)的專業(yè)工程技術(shù)人員為核心,具有設(shè)計(jì)、制造、銷售及售后服務(wù)能力的綜合性企業(yè)。
  

公司主要生產(chǎn)和經(jīng)營(yíng):
  環(huán)境與可靠性試驗(yàn)設(shè)備:高低溫試驗(yàn)箱,恒溫恒濕箱,老化箱,快溫變化箱,                         霉菌試驗(yàn)箱,鹽霧腐蝕試驗(yàn)箱;

  防潮防氧化專業(yè)設(shè)備:防潮箱、氮?dú)夤瘛崈舻獨(dú)夤?、恒溫恒濕柜、氧濃度控?/p>

                       柜、真空柜、環(huán)境溫濕度監(jiān)控;PP/PVC氮?dú)夤?

    烘烤制程設(shè)備:HMDS涂膠烤箱、紅外/熱風(fēng)烘箱、電腦光刻固化無(wú)氧烤箱、充氮

                 烤箱、電腦式真空干燥箱、可編程潔凈多腔體烘箱、隧道烘箱、

                 電腦無(wú)氧烤箱、高溫烤箱、等服務(wù)。
  

    本公司自成立之初,一直秉承客戶*的服務(wù)理念,滿足客戶持續(xù)增長(zhǎng)的需求,不斷為客戶提供品質(zhì)優(yōu)良、價(jià)格合理的產(chǎn)品,降低客戶的生產(chǎn)成本,提高客戶的競(jìng)爭(zhēng)力,為客戶創(chuàng)造價(jià)值
  

    在廣大客戶的支持下,本公司的業(yè)務(wù)蒸蒸日上,在航空、航天、電子、光電、半導(dǎo)體、*、郵電、石油化工、制藥、醫(yī)療、生物工程、高等院校、科研單位等領(lǐng)域取得了良好的業(yè)績(jī),已得到廣大客戶的認(rèn)同和稱贊。目前服務(wù)的客戶遍布沿海各省。
  

   我們將努力為客戶提供一站式服務(wù)和全面的解決方案。*解決客戶的后顧之優(yōu),讓您安心的生產(chǎn),將麻煩留給我們。您選擇真萍科技就是選擇放心!
 

   主要服務(wù)客戶:臺(tái)積電、中芯、德州儀器、長(zhǎng)電、BYD、 IPEC 、華東科技、蘇州晶方、合晶硅、 富士通、寧波芯健、松下、 三星、 立立電子、 中環(huán) 、萬(wàn)向 、尚德電力 、華潤(rùn)上華、華潤(rùn)華晶、 *公司第8、12、15、21、41、43、58所、諾基亞 、西門(mén)子、富士康、英順達(dá)、廣達(dá)、龍騰光電、INTEL、京東方、三安光電、同方、德豪潤(rùn)達(dá)、福州兆元、西安聯(lián)合、西安神光、 江淮、 奇瑞、 博物館、中科院化學(xué)所、中科院物理所 、中科院光電所 等各院所 * 各地方重點(diǎn)大學(xué)等等.

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一、設(shè)備名稱、型號(hào):12寸晶圓自動(dòng)管式爐二、系統(tǒng)組成2
自動(dòng)管式爐 電爐 產(chǎn)品詳情

一、設(shè)備名稱、型號(hào): 12寸晶圓自動(dòng)管式爐


二、系統(tǒng)組成
2.1FAB上下料
 2個(gè)上下料口(并列)
 FOUP ID 識(shí)別
 Wafer位置識(shí)別
 操作啟動(dòng)開(kāi)關(guān)

2.2晶元輸送
2.2.1FBA開(kāi)蓋
   FOUP固定,解鎖,取蓋
2.2.2晶元輸送機(jī)械手
   雙臂式傳輸
   高純度AL2O3托盤(pán)
   按規(guī)劃路徑將晶元從FOUP傳送至爐體裝  料腔中
2.2.3爐體開(kāi)蓋
?將爐體裝料腔腔門(mén)打開(kāi)

2.3爐體(熱處理)
2.3.1加熱腔
  外部采用不銹鋼外套,中部采用FEC加熱器和相應(yīng)保溫材料,內(nèi)部為石英爐管
  多層環(huán)形加熱器,有效使用高度 > 1000mm
  底部通入工藝氣氛,O2和N2可編程選擇
  煙氣冷凝回收
  底部具有自保護(hù)蓋體功能
  高溫焦油裂解功能
  降溫方式:鼓風(fēng)機(jī)將空氣吹入爐管與加熱器之間的夾腔,強(qiáng)制風(fēng)冷降溫。
  多路多層環(huán)形進(jìn)氣,保證爐膛的冷卻可控
2.3.2裝料腔
石英支架,處理量為100PCS 12inch晶圓
升降采用移動(dòng)式滑臺(tái)機(jī)構(gòu)(無(wú)桿電缸),

2.4控制柜
2.4.1氣源箱
?對(duì)于空氣,O2,N2進(jìn)行邏輯控制
?調(diào)節(jié)各路進(jìn)氣的流量
2.4.2電源箱
?動(dòng)力配電
?儀器儀表放置
?氧含量分析系統(tǒng)可選
2.5控制系統(tǒng)
?人機(jī)界面采用觸摸屏方式
?核心控制器采用嵌入式控制器
?超溫保護(hù)為獨(dú)立檢測(cè)器件
?具有氧含量檢測(cè)功能
?運(yùn)動(dòng)控制為伺服/步進(jìn)控制單元
?傳輸為專業(yè)晶元傳輸機(jī)器人
?軟件具有功能:溫度控制,氣氛控制,工藝編輯,數(shù)據(jù)記錄,圖表顯示.

三、基本配置
3.1處理產(chǎn)品:12inch 晶圓
3.2處理量:90PCS/管,共180PCS
3.3加熱器:圓形FEC加熱板
3.4加熱區(qū)域:>1000mm
3.5外形尺寸:
    本體:2500×3500×3500(W×D×H)
    控制柜:800×600×2200(W×D×H)
3.6上料口:2
3.7機(jī)械手:1

四、技術(shù)指標(biāo)
4.1長(zhǎng)期使用溫度: 350℃,溫度上限:750℃;
4.2升溫速率:>30℃/min
4.3降溫速率:>5℃/min
4.4加熱功率:36kW(單爐);
4.5加熱溫區(qū): 3個(gè);
4.6爐溫均勻性: ±7℃(350℃恒溫);
4.7程序控制:P.I.D控制;
4.8溫度控制方式: SSR
4.9控溫?zé)崤? K分度;
4.10氣氛: N2/O2;
4.11爐膛材料:石英玻璃;
4.12保溫材料:陶瓷纖維;
4.13氣氛控制:多路流量計(jì)調(diào)節(jié)進(jìn)氣,流量計(jì)量程為24~240L/min;
4.14排氣系統(tǒng):在頂部設(shè)置排氣煙囪,用于廢氣排放,回收;
4.15設(shè)備重量:約2t;

*技術(shù)細(xì)節(jié)變動(dòng)之處,恕不另行通知,具體設(shè)備參數(shù)以咨詢結(jié)果為準(zhǔn)。


真萍科技作為專業(yè)的熱處理設(shè)備制造廠商,可根據(jù)客戶工藝需求定制您需要的滿意產(chǎn)品,有需求的客戶。

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