微小氣體質(zhì)量流量計(jì) 小流量氣體控制器 實(shí)驗(yàn)專用氣體質(zhì)量控制器 AX10FD
一、概述
微小氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、***和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
二、 工作原理
AX10FD 系列氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司*的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅(jiān)固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。
三、技術(shù)參數(shù)
- 可實(shí)現(xiàn)小流量測試，精度高
- 低功耗便攜式設(shè)計(jì)
- RS485通訊方式可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中化管理
- 實(shí)時(shí)監(jiān)測瞬時(shí)流量和計(jì)算累計(jì)流量
- 密碼管理，超限報(bào)警
- 友好的接口方式，實(shí)用于各種氣體監(jiān)測的應(yīng)用場合
- 銅制管體(可選）能夠用于各種氣體介質(zhì)測量
- 體積小，易于安裝
