微小氣體流量計

流量計采用微機械加工技術，實現微小流量測量，其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償，廣泛應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

工作原理：

感熱式芯片技術是采用大規(guī)模集成電阻的工作，在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上，采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態(tài)響應時間大大提高，當傳感器工作時，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布，如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:

式中：氣體流動方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴散率。如上圖（式）所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質量流量。

產品特點：

·產品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現自動調節(jié)、控制閥門

·微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產技術和材料加工技術，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升

·微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現微小流量測量的數字化

·單個芯片的**流量特性的微處理技術，使流量計的量程范圍大大提高

·機電一體化優(yōu)化設計，智能化的數據處理技術，使流量計具有更好的重復性，實現了計量的準確、可靠

·結構的優(yōu)化，流量計的壓力損失達到*小化

·新的傳感技術，使流量計工作更穩(wěn)定、可靠

·開創(chuàng)零點自校功能，測量更準確

·多種氣體實際標定，全量程補償

·快速響應、數據自動存儲，配合上位機可實現網絡集中管理

·規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據用戶要求單獨標定

·精度等級高，滿足用戶高精度測量要求

·的流量計報警功能，使監(jiān)控更可靠

·操作、設置界面友好、簡便，可根據需要自行設定相關參數

·運用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產品升級換代的優(yōu)選

技術參數：

·測量介質：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

·測量管徑：DN3，4，6，8，10，12，18

·流量范圍：50、100、300、500、1000sccm
1、2、5、10、20、30、40、50、100、150、200、300、500SLM

·流量測量準確度：±1.5%FS，±2.5%FS

·工作溫度范圍：-25℃-55℃

·工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa，3.0MPa

·供電電源：24VDC±10%

·輸出信號：4-20mA，RS485通訊

·環(huán)境溫度：-25℃-55℃

外觀尺寸：